[实用新型]一种超纯水处理系统

权利要求书

1.一种超纯水处理系统，其特征在于：包括原水槽、预处理装置、软水处理装置、超滤处理装置、反渗透处理装置和脱氧EDI装置，所述原水槽的一端连接有原水进管，所述原水进管的另一端连接所述预处理装置，所述预处理装置连接所述软水处理装置，所述软水处理装置连接所述超滤处理装置，所述超滤处理装置连接所述反渗透处理装置，所述反渗透处理装置连接所述脱氧EDI装置，所述脱氧EDI装置连接有温床离子树脂槽，所述温床离子树脂槽连接有终端超滤设备，所述终端超滤设备连接有回水TOC-UV机，所述回水TOC-UV机连接有超纯水出管。

2.根据权利要求1所述的一种超纯水处理系统，其特征在于：所述预处理装置包括覆层过滤器、化学加药泵和自动再生软水设备，所述覆层过滤器的一端连接所述原水槽，所述覆层过滤器的另一端连接所述化学加药泵，所述化学加药泵连接所述自动再生软水设备，所述自动再生软水设备连接所述软水处理装置。

3.根据权利要求2所述的一种超纯水处理系统，其特征在于：所述软水处理装置包括预过滤器、软水储槽和软水泵，所述预过滤器的一端连接所述自动再生软水设备，所述预过滤器的另一端连接所述软水储槽，所述软水储槽连接所述软水泵。

4.根据权利要求3所述的一种超纯水处理系统，其特征在于：所述超滤处理装置包括超滤设备、超滤产水槽、超滤控制泵、超滤清洗组件和超滤反洗组件，所述超滤设备的进水端连接所述软水泵，所述超滤设备的出水端连接所述超滤产水槽，所述超滤产水槽连接所述超滤控制泵，所述超滤控制泵连接所述反渗透处理装置，所述超滤清洗组件设置于所述超滤设备的进水端，所述超滤反洗组件设置于所述超滤设备的出水端。

5.根据权利要求4所述的一种超纯水处理系统，其特征在于：所述超滤清洗组件包括超滤清洗箱和超滤清洗泵，所述超滤清洗箱连接所述超滤清洗泵，所述超滤清洗泵连接于所述超滤设备的进水端。

6.根据权利要求4所述的一种超纯水处理系统，其特征在于：所述超滤反洗组件包括超滤反洗设备、超滤反洗泵和再生水进泵，所述超滤反洗设备的一端连接所述超滤反洗泵，所述超滤反洗泵连接所述超滤产水槽，所述超滤反洗设备的另一端连接所述再生水进泵。

7.根据权利要求4所述的一种超纯水处理系统，其特征在于：所述反渗透处理装置包括反渗透设备和反渗透产水槽，所述反渗透设备的进水端连接所述超滤控制泵，所述反渗透设备的出水端连接所述反渗透产水槽，所述反渗透产水槽连接所述脱氧EDI装置。

8.根据权利要求4所述的一种超纯水处理系统，其特征在于：所述脱氧EDI装置包括EDI送水泵、第一TOC-UV设备、第二TOC-UV设备、第一薄膜脱氧设备、第二薄膜脱氧设备、EDI纯水设备、EDI产水槽、循环送水泵和热交换器，所述EDI送水泵的一端连接所述反渗透产水槽，所述EDI送水泵的另一端连接所述第一TOC-UV设备，所述第一TOC-UV设备连接所述第一薄膜脱氧设备，所述第一薄膜脱氧设备连接所述EDI纯水设备，所述EDI纯水设备连接所述EDI产水槽，所述EDI产水槽连接所述循环送水泵，所述循环送水泵连接所述热交换器，所述热交换器连接第二TOC-UV设备，所述第二TOC-UV设备连接所述第二薄膜脱氧设备，所述第二薄膜脱氧设备连接所述温床离子树脂槽。

9.根据权利要求8所述的一种超纯水处理系统，其特征在于：所述第一薄膜脱氧设备连接有真空泵。