[实用新型]一种超纯水处理系统

说明书

本实用新型公开了一种超纯水处理系统，包括原水槽、预处理装置、软水处理装置、超滤处理装置、反渗透处理装置和脱氧EDI装置，原水槽的一端连接有原水进管，原水进管的另一端连接预处理装置，预处理装置连接软水处理装置，软水处理装置连接超滤处理装置，超滤处理装置连接反渗透处理装置，反渗透处理装置连接脱氧EDI装置，脱氧EDI装置连接有温床离子树脂槽，温床离子树脂槽连接有终端超滤设备，终端超滤设备连接有回水TOC‑UV机，回水TOC‑UV机连接有超纯水出管。通过设置预处理装置进行大分子过滤操作，结合软水处理装置、超滤处理装置、反渗透处理装置，对水进行深化处理，进一步提高过滤效果，保证超纯水的纯度；通过设置脱氧EDI装置，大大提高了脱气性能。

技术领域

本实用新型涉及一种超纯水处理系统。

背景技术

纯水，既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水，电阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm极限值(25℃)。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。但是要想达到超纯水的要求，一般都需要经过很多道工序，生产装置结构复杂，且生产效率低下。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种超纯水处理系统，该系統结构简单、科学便利、针对性强，通过设置预处理装置进行大分子过滤操作，结合软水处理装置、超滤处理装置、反渗透处理装置，对水进行深化处理，进一步提高过滤效果，保证超纯水的纯度；通过设置脱氧EDI装置，大大提高了脱气性能，本实用新型能够有效实现超纯水的提纯操作，大大提高生产效率，安全高效。

为了解决上述技术问题，采用如下技术方案：

一种超纯水处理系统，包括原水槽、预处理装置、软水处理装置、超滤处理装置、反渗透处理装置和脱氧EDI装置，原水槽的一端连接有原水进管，原水进管的另一端连接预处理装置，预处理装置连接软水处理装置，软水处理装置连接超滤处理装置，超滤处理装置连接反渗透处理装置，反渗透处理装置连接脱氧EDI装置，脱氧EDI装置连接有温床离子树脂槽，温床离子树脂槽连接有终端超滤设备，终端超滤设备连接有回水TOC-UV机，回水TOC-UV机连接有超纯水出管。

进一步，预处理装置包括覆层过滤器、化学加药泵和自动再生软水设备，覆层过滤器的一端连接原水槽，覆层过滤器的另一端连接化学加药泵，化学加药泵连接自动再生软水设备，自动再生软水设备连接软水处理装置。通过设置覆层过滤器、化学加药泵等设备对水中的悬浮物、对有机物、胶体胶质颗粒、微生物、氯、嗅味及部分重金属离子进行有效的过滤，降低水体的浊度和色度，净化水质，减少对后续系统(反渗透、超滤、离子交换器)的污染，提高了超纯水过滤的效果和效率。

进一步，软水处理装置包括预过滤器、软水储槽和软水泵，预过滤器的一端连接自动再生软水设备，预过滤器的另一端连接软水储槽，软水储槽连接软水泵。通过设置软水预处理装置对原水进行软水处理，方便进行超滤和反渗透处理工作。

进一步，超滤处理装置包括超滤设备、超滤产水槽、超滤控制泵、超滤清洗组件和超滤反洗组件，超滤设备的进水端连接软水泵，超滤设备的出水端连接超滤产水槽，超滤产水槽连接超滤控制泵，超滤控制泵连接反渗透处理装置，超滤清洗组件设置于超滤设备的进水端，超滤反洗组件设置于超滤设备的出水端。通过设置超滤设备，当水流过超滤膜元件的膜表面时，只允许水、无机盐和小分子物质透过膜，而截留水中的悬浮物、胶体和微生物，以达到净化分离的目的。该装置中采用的超滤膜元件，系采用国际先进的膜工艺开发而成，以PVDF膜丝作为膜材料，端头密封采用不会开裂、不会泄漏的聚胺脂材料，采用更耐污染和耐高悬浮物的外压式中空纤维超滤膜主件；膜壳耐压可达到1.0MPa，强度大；超滤膜元件具有通量高，抗污染性能好，性能稳定，检漏修补方便，使用寿命长等特点，可以满足大多数反渗透前处理以及中水回用，以适应较高的进水浊度和较强的清洗要求。