[实用新型]多弧离子真空镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种多弧离子真空镀膜机，包括腔室、抽真空系统和多弧靶组件，腔室内设有旋转架组件，旋转架组件上安装有工作台，旋转架组件用于带动工作台在腔室内转动，工作台用于安装工件；抽真空系统与腔室连接；多弧靶组件包括若干个阴极多弧靶座，每个阴极多弧靶座上设有永磁铁，每个阴极多弧靶座的内端通过直管磁场叠加装置与腔室密封连接，且阴极多弧靶座的内端连接有套设于直管磁场叠加装置内的靶材座，靶材座用于安装靶材，每个阴极多弧靶座上均设有引弧装置，引弧装置的引弧针能够接触靶材，直管磁场叠加装置能够在靶材所在空间产生变化磁场。该多弧离子真空镀膜机，能有效过滤掉涂层中的大颗粒，使涂层致密光亮，性能优良。

技术领域

本实用新型涉及离子镀膜技术领域，特别是涉及一种多弧离子真空镀膜机。

背景技术

进入二十一世纪，机械制造技术朝着高效率、高精度、高可靠性和专用化的方向发展；为了提高效率、加工精度、可靠性和降低成本要开发超高切削加工技术，而对超硬材料和难加工材料的加工都要开发高性能刀具和高性能硬质涂层；且许多节能降耗、保护环境、减少污染的”绿色制造技术”也离不开高性能工模具的开发。离子镀膜机能够实现对刀具和零件模具进行镀膜处理，使其具备卓越的使用性能，显著提高表面的硬度，耐磨性，耐蚀性，耐热性及其润滑性等，极大地提升了刀具和零件的品质(如表面粗糙度，精度等)和使用寿命。

相对普通的离子镀镀膜机，多弧离子镀膜沉积速率快、效率高，但涂层中大颗粒较多，涂层致密性差，影响刀具和工件的使用性能。尤其对于一些精加工刀具和工件，涂层表面粗糙、摩擦力大，直接影响其使用寿命，因而传统离子镀膜不能满足这类产品镀膜要求。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种多弧离子真空镀膜机，以解决上述现有技术存在的问题，能有效过滤掉涂层中的大颗粒，使涂层致密光亮，性能优良。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

本实用新型提供一种多弧离子真空镀膜机，包括腔室、抽真空系统和多弧靶组件，所述腔室内设有旋转架组件，所述旋转架组件上安装有工作台，所述旋转架组件用于带动所述工作台在所述腔室内转动，所述工作台用于安装工件；所述抽真空系统与所述腔室连接；所述多弧靶组件包括若干个阴极多弧靶座，每个所述阴极多弧靶座上设有一永磁铁，每个所述阴极多弧靶座的内端通过一直管磁场叠加装置与所述腔室密封连接，且所述阴极多弧靶座的内端连接有套设于所述直管磁场叠加装置内的靶材座，所述靶材座用于安装靶材，每个所述阴极多弧靶座上均设有一引弧装置，所述引弧装置的引弧针能够接触靶材，所述直管磁场叠加装置能够在靶材所在空间产生变化磁场。

优选的，所述直管磁场叠加装置包括直管和导电螺线圈，所述直管套设于所述靶材座外且所述直管的一端与所述阴极多弧靶座密封连接，所述直管的另一端与所述腔室密封连接，所述导电螺线管套设在所述直管外。

优选的，所述旋转架组件包括转盘轴、转盘、第一大齿轮和第一小齿轮，所述转盘同轴固定连接于所述转盘轴上，所述第一大齿轮同轴套设于所述转盘轴上并周向固定连接于所述腔室的底面上，所述第一大齿轮啮合有若干个所述第一小齿轮，各所述第一小齿轮均固定连接有一个工件安装杆，各且所述工件安装杆均向上穿过所述转盘，各所述工件安装杆位于所述转盘上方的部分固定连接有一个所述工作台，所述旋转架组件由一旋转驱动组件驱动。

优选的，所述转盘上对应于每个所述工件安装杆均设有一个拨杆，各所述工件安装杆上同轴活动套设有一个第二大齿轮，各所述第二大齿轮的一端伸出所述工作台并通过一连接杆与所述拨杆固定连接；各所述工作台上均固定连接有一小齿轮轴，所述小齿轮轴外活动套设有一第二小齿轮，所述第二小齿轮与所述第二大齿轮啮合，所述第二小齿轮用于安装工件；

所述工作台上方设有一工作台盖板，所述工件安装杆穿过所述工作台盖板，且所述第二小齿轮上端伸出所述工作台盖板以安装工件。