[实用新型]输送辊、输送装置及基片处理设备

权利要求书

1.用于输送基片(2)的输送辊(9,18)，在其表面(10)上设置有突起部(11)，其特征在于：

沿输送辊(9,18)的纵向方向(L)相邻的突起部(11)彼此相距至少5mm。

2.根据权利要求1所述的输送辊(9,18)，其特征在于：

其中沿输送辊(9,18)的纵向方向(L)一个接一个地设置有至少两个突起部(11)。

3.根据权利要求1或2所述的输送辊(9,18)，其特征在于：

突起部(11)被实施为高出部的形式。

4.根据权利要求1或2所述的输送辊(9,18)，其特征在于：

所述突起部(11)与基体(14)一体地形成。

5.根据权利要求1或2所述的输送辊(9,18)，其特征在于：

至少一个突起部(11)至少部分地沿着输送辊(9,18)的周向方向(U)延伸。

6.根据权利要求1或2所述的输送辊(9,18)，其特征在于：

至少一个所述突起部(11)相对于纵轴(15)对称地形成。

7.根据权利要求1或2所述的输送辊(9,18)，其特征在于：

至少一个突起部(11)是闭环结构的。

8.根据权利要求1或2所述的输送辊(9,18)，其特征在于：

突起部(11)中的至少一个具有以锐角彼此相交的两个侧壁(16)。

9.根据权利要求1或2所述的输送辊(9,18)，其特征在于：

其中至少一个突起部(11)具有弧形的两个侧壁(16)，特别是凹形弯曲的两个侧壁(16)。

10.根据权利要求1或2所述的输送辊(9,18)，其特征在于：

沿输送辊(9,18)的纵向方向(L)相邻的突起部(11)彼此相距至少10mm 的距离(d)。

11.根据权利要求1或2所述的输送辊(9,18)，其特征在于：

突起部(11)中的至少一个是锥形尖端。

12.根据权利要求1或2所述的输送辊(9,18)，其特征在于：

突起部(11)中的至少两个沿输送辊(9,18)的圆周方向(U)被一个接一个地设置。

13.根据权利要求1或2所述的输送辊(9,18)，其特征在于：

突起部(11)具有至少2mm的高度(h)。

14.根据权利要求1或2所述的输送辊(9,18)，其特征在于：

所述输送辊的表面(10)至少部分地是疏水的。

15.根据权利要求1或2所述的输送辊(9,18)，其特征在于：

输送辊(9,18)的表面(10)的至少部分区域中具有塑料材料。

16.一种用于基片处理设备(1)的输送装置(8)，其特征在于该输送装置(8)包括至少一个根据前述权利要求之一所述的输送辊(9,18)。

17.基片处理设备(1)，包括根据权利要求16所述的输送装置(8)和具有处理液体(4,6)的处理槽(3,5)，其特征在于：

所述输送辊(9,18)的相邻突起部(11)相隔得足够远，从而避免了导致所述处理液(4,6)存留在所述突起部(11)之间的毛细作用力的形成。