[实用新型]一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置有效
| 申请号： | 201721712564.3 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN207634655U | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 黄昌盛;徐美婷;楼允洪 | 申请（专利权）人： | 杭州维科磁电技术有限公司 |
| 主分类号： | F16H57/029 | 分类号： | F16H57/029;F16H57/04;F16H57/023;F16H57/02 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 310012 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传动轴 壳体 磁流体密封传动装置 水冷循环系统 本实用新型 深沟球轴承 多腔室 水介质 旋转器 体内 磁流体密封装置 金属密封圈 传动系统 工作效率 密封效果 侧连接 水接头 法兰 氟胶 卡套 装卸 | ||
1.一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，包括传动轴（1）及套接设置在传动轴（1）上的壳体（2），所述传动轴（1）为一根细长轴，从大气端穿过PECVD设备腔室侧壁进入腔室内部，大气端连接电机和同步带轮，真空端连接传动轮，传动轴（1）位于壳体（2）内的部分上安装有两个深沟球轴承（3），该深沟球轴承（3）与传动轴（1）构成稳定的传动系统，壳体（2）位于真空侧一端的端面上设置有端面氟胶O型密封圈（4），其特征在于所述壳体（2）内设置有磁流体密封装置，所述传动轴（1）大气侧连接设置有水介质旋转器（5），所述水介质旋转器（5）与传动轴（1）之间形成水冷循环系统，所述壳体（2）上还设置有NPT卡套水接头（6）。
2.如权利要求1所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，其特征在于靠近真空侧的深沟球轴承（3）端面上安装有金属密封圈（7）。
3.如权利要求1所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，其特征在于所述壳体（2）为带ISO标准法兰的壳体。
4.如权利要求1所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，其特征在于所述磁流体密封装置包括位于壳体（2）内部且与传动轴（1）套接设置的钕铁硼永久磁钢（8）、磁极（9）。
5.如权利要求1所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，其特征在于所述水冷循环系统包括设置在水介质旋转器（5）上的进水口（10）和出水口（11）、沿传动轴（1）长度方向设置的内孔（12）、与进水口（10）相连且深入到内孔（12）底部的通水管（13），所述出水口（11）与内孔（12）连通。
6.如权利要求1所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，其特征在于所述NPT卡套水接头（6）设置有四个，两个进水水接头，两个出水水接头，进水水接头和对应的出水水接头之间设置环形水槽（14）。
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