[实用新型]一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置

说明书

本实用新型公开了一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，包括传动轴及壳体，传动轴位于壳体内的部分上安装有两个深沟球轴承，该深沟球轴承与传动轴构成稳定的传动系统，壳体位于真空侧一端的端面上设置有端面氟胶O型密封圈，壳体内设置有磁流体密封装置，传动轴大气侧连接设置有水介质旋转器，水介质旋转器与传动轴之间形成水冷循环系统，壳体上还设置有NPT卡套水接头。本实用新型水冷循环系统的设置，可有效的降低传动轴温度，确保传动轴正常工作，金属密封圈的设置，提高密封效果，ISO标准法兰的设置，便于装卸，提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及磁流体密封传动装置，具体涉及一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置。

背景技术

传统的太阳能电池PECVD（等离子体增强化学气相沉积设备）生产线，有单腔室PECVD设备，一般只适用于电池生产厂商以及各高校、研究所等研发机构的工艺研发，而不能形成量产；也有多腔室PECVD设备，太阳能电池从一个腔体传输到下一个腔体时，阀门的切换和电池板的同步传输是设备生产效率的关键，原有的传统技术需要多组复杂的传动装置和传统的机械密封结构或者普通的磁流体密封，以及配合复杂的生产工艺。生产效率不高，而且需要经常的维护保养。

磁流体密封装置，因其长寿命、无磨损、真空度高、转速范围广等性能，已经在绝大多数需要动转密封的场合取代传统机械密封。但是，单一的磁流体密封结构，并不能适用于所有的应用场合。针对PECVD设备腔体内，需要适应复杂的工艺工况，其磁流体密封装置必须同时具备耐高温、耐粉尘、耐高真空、回转精度高等特性。传统的机械密封和普通的磁流体密封都不能很好的满足。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于设计提供一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置。

所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，包括传动轴及套接设置在传动轴上的壳体，所述传动轴为一根细长轴，从大气端穿过PECVD设备腔室侧壁进入腔室内部，大气端连接电机和同步带轮，真空端连接传动轮，传动轴位于壳体内的部分上安装有两个深沟球轴承，该深沟球轴承与传动轴构成稳定的传动系统，壳体位于真空侧一端的端面上设置有端面氟胶O型密封圈，其特征在于所述壳体内设置有磁流体密封装置，所述传动轴大气侧连接设置有水介质旋转器，所述水介质旋转器与传动轴之间形成水冷循环系统，所述壳体上还设置有NPT卡套水接头。

所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，其特征在于靠近真空侧的深沟球轴承端面上安装有金属密封圈。

所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，其特征在于所述壳体为带ISO标准法兰的壳体。

所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，其特征在于所述磁流体密封装置包括位于壳体内部且与传动轴套接设置的钕铁硼永久磁钢、磁极。

所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，其特征在于所述水冷循环系统包括设置在水介质旋转器上的进水口和出水口、沿传动轴长度方向设置的内孔、与进水口相连且深入到内孔底部的通水管，所述出水口与内孔连通。

所述的一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，其特征在于所述NPT卡套水接头设置有四个，两个进水水接头，两个出水水接头，进水水接头和对应的出水水接头之间设置环形水槽。

与传统的机械密封和普通的磁流体密封比较，本实用新型的技术优点：

1）传动轴和水介质旋接器构成的轴内部水冷循环系统，可以非常高效地降低整根传动轴的温度，使得传动轴可以大部分长度伸入设备腔室内部的高温工况中，也能正常工作，不变形不卡顿，保证电池板的平稳匀速传输；