[实用新型]一种用于高温气氛环境下粉体材料制备的化学气相沉积反应装置

权利要求书

1.一种用于高温气氛环境下粉体材料制备的化学气相沉积反应装置，其特征在于：该装置包括加热炉体、耐高温陶瓷炉管和内衬反应器；所述内衬反应器置于耐高温陶瓷炉管内部，所述加热炉体用于对耐高温陶瓷炉管和内衬反应器进行加热；其中：所述内衬反应器为具有中空反应腔的圆柱状结构，所述中空反应腔为两端细中间粗的结构；所述中空反应腔内设有沟槽和/或翻料挡板结构。

2.根据权利要求1所述的用于高温气氛环境下粉体材料制备的化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述沟槽为多个，均匀分布于所述内衬反应器的内壁上；所述沟槽或翻料挡板能够带动反应物料随炉管旋转而翻动混合。

3.根据权利要求2所述的用于高温气氛环境下粉体材料制备的化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述翻料挡板设于内衬反应器内中间位置，包括若干沿内衬反应器轴向分布的条形挡板。

4.根据权利要求1所述的用于高温气氛环境下粉体材料制备的化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述耐高温炉管为陶瓷材质；所述内衬反应器的材料为石墨、氮化硼、陶瓷或耐高温金属材料。

5.根据权利要求1所述的用于高温气氛环境下粉体材料制备的化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述内衬反应器的外径与所述耐高温陶瓷炉管内径相适应，以实现内衬反应器与耐高温陶瓷炉管的同步旋转。

6.根据权利要求1所述的用于高温气氛环境下粉体材料制备的化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述内衬反应器为分体结构，包括以螺纹连接的反应器前段和反应器后段，该分体结构方便拆卸及填装、取出物料操作；所述内衬反应器的前段设有进气口，后段设有出气口；进气口的内径大于出气口的内径，以保证气体充满反应区。

7.根据权利要求1所述的用于高温气氛环境下粉体材料制备的化学气相沉积反应装置，其特征在于：该装置还包括齿轮传动旋转系统和可旋转密封接头，实现耐高温陶瓷炉管和内衬反应器按设定速度匀速旋转；其中：所述齿轮传动旋转系统用于使耐高温陶瓷炉管产生轴向旋转；所述可旋转密封接头通过密封法兰安装在所述耐高温陶瓷炉管的两端；可旋转密封接头与密封法兰之间设置密封圈。

8.根据权利要求7所述的用于高温气氛环境下粉体材料制备的化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述齿轮传动旋转系统包括可调速电机、支撑滑轮和传动齿轮；可调速电机的输出轴带动所述传动齿轮转动，所述耐高温陶瓷炉管上套装并固定有环状齿轮，所述传动齿轮通过与环状齿轮啮合从而带动耐高温陶瓷炉管的转动；所述耐高温陶瓷炉管通过所述支撑滑轮支撑且能够在支撑滑轮上自由转动。

9.根据权利要求7所述的用于高温气氛环境下粉体材料制备的化学气相沉积反应装置，其特征在于：所述耐高温陶瓷炉管两端的可旋转密封接头上分别连接进气管和出气管；进气管和出气管能够相对于可旋转密封接头转动；使用时，可旋转密封接头、密封法兰、耐高温陶瓷炉管和内衬反应器在可调速电机的动力下进行同步转动，进气管和出气管静止。