[实用新型]一种针对卷材的真空等离子设备有效
| 申请号： | 201721721418.7 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN207624653U | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 张斌 | 申请（专利权）人： | 昆山国华电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空等离子 外框 体内 电极板 电极组 真空腔 放卷 卷材 收卷 卷材输送装置 本实用新型 等离子处理 功能集成 功能增加 铰链连接 竖直排列 外框侧边 真空腔体 进气管 进气门 松紧度 整齐度 进气 收放 通孔 成功 | ||
【权利要求书】：
1.一种针对卷材的真空等离子设备，其特征在于，包括真空腔体，所述真空腔体内设有电极组和卷材输送装置；所述电极组包括外框，所述外框内设有竖直排列的若干电极板，所述电极板之间的外框上设有通孔；所述外框侧边通过铰链连接有进气门，所述进气门上连接有进气管；
所述卷材输送装置包括放线辊、收线辊、若干导向辊和纠偏装置，所述放线辊和收线辊上分别连接有伺服电机；
所述通孔处分别设有所述导向辊。
2.根据权利要求1所述的针对卷材的真空等离子设备，其特征在于，所述纠偏装置包括固定底板，所述固定底板上设置有气缸，所述气缸输出端连接有滑动板，所述滑动板上活动连接有固定板，所述固定板上设有两个纠偏辊，所述固定板下部设有若干C形块和卡合轮，所述卡合轮卡合于所述C形块内。
3.根据权利要求1所述的针对卷材的真空等离子设备，其特征在于，所述通孔内设有亚克力层套。
4.根据权利要求1所述的针对卷材的真空等离子设备，其特征在于，所述电极板包括板体，所述板体上部和下部分别排列设置有若干导流孔。
5.根据权利要求1所述的针对卷材的真空等离子设备，其特征在于，所述真空腔体上设有门体，所述门体上设有透视窗。
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