[实用新型]一种针对卷材的真空等离子设备

说明书

本实用新型提出了一种针对卷材的真空等离子设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设有电极组和卷材输送装置；所述电极组包括外框，所述外框内设有竖直排列的若干电极板，所述电极板之间的外框上设有通孔；所述外框侧边通过铰链连接有进气门，所述进气门上连接有进气管，本设备专门针对卷性材料的真空等离子设备，将有效的收卷、放卷功能集成到真空腔体内，能够成功的将收卷放卷功能增加到真空等离子的腔体内，并确保收放的松紧度合适，整齐度良好，等离子处理效果良好。

技术领域

本实用新型涉及等离子处理设备领域，尤其涉及针对卷材的真空等离子设备。

背景技术

等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质。等离子清洗/刻蚀产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也越来越长，受磁场作用，发生碰撞而形成等离子体，同时会发生辉光。等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，从而达到表面处理、清洗和刻蚀的效果。

现有技术中，一般的等离子设备使用的竖直电极板，一般将需要清洗的产品放置于电极板上，但对于一些特殊材料，比如卷材等，等离子设备中需要保持真空状态，固必须在腔体内设置卷材输送的结构，但现有的设备中并没有此类设备。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提出了一种针对卷材的真空等离子设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设有电极组和卷材输送装置；所述电极组包括外框，所述外框内设有竖直排列的若干电极板，所述电极板之间的外框上设有通孔；所述外框侧边通过铰链连接有进气门，所述进气门上连接有进气管；

所述卷材输送装置包括放线辊、收线辊、若干导向辊和纠偏装置，所述放线辊和收线辊上分别连接有伺服电机；

所述通孔处分别设有所述导向辊。

优选的，所述纠偏装置包括固定底板，所述固定底板上设置有气缸，所述气缸输出端连接有滑动板，所述滑动板上活动连接有固定板，所述固定板上设有两个纠偏辊，所述固定板下部设有若干C形块和卡合轮，所述卡合轮卡合于所述C形块内。

优选的，所述通孔内设有亚克力层套。

优选的，所述电极板包括板体，所述板体上部和下部分别排列设置有若干导流孔。

优选的，所述真空腔体上设有门体，所述门体上设有透视窗。

本实用新型提出的针对卷材的真空等离子设备有以下有益效果：本设备专门针对卷性材料的真空等离子设备，将有效的收卷、放卷功能集成到真空腔体内，能够成功的将收卷放卷功能增加到真空等离子的腔体内，并确保收放的松紧度合适，整齐度良好，等离子处理效果良好。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本实用新型的腔体内部结构示意图；

图2为本实用新型的电极板的结构示意图；

其中，1、真空腔体；2、外框；3、电极板；4、通孔；5、进气门；6、进气管；7、放线辊；8、收线辊；9、导向辊；10、固定底板；11、气缸；12、滑动板；13、固定板；14、纠偏辊；15、C形块；16、卡合轮；17、导流孔；18、门体；19、透视窗。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。