[实用新型]一种用于实现微波混合电路高精度装片的共晶烧结夹具有效
申请号: | 201721722420.6 | 申请日: | 2017-12-12 |
公开(公告)号: | CN207558775U | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 张如春;陈强 | 申请(专利权)人: | 江苏博普电子科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/60 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 214131 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装片 元器件 微波混合电路 本实用新型 固定夹具 限位夹具 共晶 管壳 通孔 压块 烧结夹具 生产效率 固定元器件 微波功率管 一次性完成 高集成化 固定压块 贯通设置 匹配设置 烧结 热应力 施加 | ||
本实用新型公开了一种用于实现微波混合电路高精度装片的共晶烧结夹具,其包括管壳,管壳内设置有用于放置元器件的限位夹具,限位夹具上部设置有固定夹具,固定夹具上贯通设置有多个通孔,通孔内均匹配设置有能够插入的压块,压块通过通孔压在元器件上。本实用新型的限位夹具,用来固定元器件的位置;压块,用来对元器件施加一定的压力;固定夹具,用来固定压块;本实用新型能够实现高精度装片,装片精度达到±50um;同时能够实现管壳内所有元器件一次性完成共晶烧结,提高了生产效率,也避免了元器件因经历多次高温造成的热应力失效。其解决了微波混合电路高精度装片以及提高生产效率,为微波功率管高集成化、小型化提供了很好的解决方案。
技术领域
本发明涉及微波混合电路内共晶装片技术领域,具体为一种用于实现微波混合电路高精度装片的共晶烧结夹具。
背景技术
微波混合电路广泛地应用于通信系统和雷达系统中。目前微波混合电路的封装朝着高集成化、小型化趋势发展,这样一来就要求在一小的管壳或基板上集成更多的器件,目前针对微波混合电路里超多元器件的情况普遍使用全自动装片机装片,但是其生产效率很低,全自动装片机可以保证高精度但是生产效率低下,所以说开发既能实现高精度装片又能提高生产效率的共晶烧结夹具显得十分重要,也成为业内的一大技术难题。
发明内容
为了克服上述问题,本发明提供一种用于实现微波混合电路高精度装片的共晶烧结夹具。
本发明的技术方案是提供一种用于实现微波混合电路高精度装片的共晶烧结夹具,其包括管壳,其特征在于:所述管壳内设置有用于放置元器件的限位夹具,所述限位夹具上部设置有固定夹具,所述固定夹具上贯通设置有多个通孔,所述通孔内均匹配设置有能够插入的压块,所述压块通过所述通孔压在元器件上。
进一步的,所述管壳包括有底座及设置于所述底座中部的连接头,所述连接头内开设有一凹槽,所述限位夹具设置于所述凹槽内。
进一步的,所述限位夹具上设置有多个用于放置元器件的容置槽。
进一步的,所述固定夹具设置于所述凹槽内且位于所述限位夹具的上部。
进一步的,所述通孔设置为圆柱状,所述压块匹配设置为圆柱状。
进一步的,所述压块的底端包括有一锥形的压头。
本发明的有益效果是:本发明设置了限位夹具、固定夹具及压块,限位夹具,用来固定元器件(包括芯片、电容、电感等)的位置;压块,用来对元器件施加一定的压力;固定夹具,用来固定压块;本发明能够实现高精度装片,装片精度达到±50um;同时能够实现管壳内所有元器件一次性完成共晶烧结,提高了生产效率,也避免了元器件因经历多次高温造成的热应力失效。其解决了微波混合电路高精度装片以及提高生产效率,为微波功率管高集成化、小型化提供了很好的解决方案。
附图说明
图1是本发明的侧面结构示意图;
图2是本发明的限位夹具的顶面立体结构示意图;
图3是本发明的固定夹具的顶面结构示意图;
图4是本发明的压块的侧面结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施例,进一步阐述本发明。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造