[实用新型]高压双向晶闸管有效
申请号: | 201721734520.0 | 申请日: | 2017-12-13 |
公开(公告)号: | CN207676909U | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | 张桥;刘小俐;颜家圣;刘鹏;肖彦;黄智;李娴;任丽 | 申请(专利权)人: | 湖北台基半导体股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/747 | 分类号: | H01L29/747;H01L21/332 |
代理公司: | 襄阳嘉琛知识产权事务所 42217 | 代理人: | 严崇姚 |
地址: | 441021 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 反并联晶闸管 双向晶闸管 正向 功率半导体器件 反向阻断电压 交流电机控制 晶闸管反并联 半导体芯片 本实用新型 高压晶闸管 工作可靠性 晶闸管器件 反向导通 高压防爆 工艺简化 控制信号 软启动器 层结构 低掺杂 反并联 隔离层 结构件 晶闸管 可控制 中心门 减小 耐压 双压 串联 隔离 应用 制造 | ||
1.一种高压双向晶闸管,由管壳下封接件(1)、下门极组件(7)、下垫片(2)、半导体芯片(4)、上垫片(5)、上门极组件(7)和上封接件(6)封装而成,其特征在于:所述半导体芯片(4)为四端P+N+PP-N-P-PN+P+九层结构,包括T1极、上部门极(G1)、T2极和下部门极(G2)四个端子;所述的半导体芯片(4)的左半部分,从下至上依次为P+N+PP-N-P-PP+八层结构,下部为晶闸管阴极,上部为晶闸管阳极;半导体芯片(4)的右半部分,从下至上依次为P+PP-N-P-P N+P+八层结构,下部为晶闸管阳极、上部为晶闸管阴极;半导体芯片(4)的左右整体形成晶闸管的反并联结构;上部门极(G1)、下部门极(G2)的中心门极形成PNP型结构,对反并联晶闸管进行隔离;所述的半导体芯片(4)左半部分的单晶闸管P+N+PP-N-P-PP+结构分别为阳极发射极P+层(41)、阳极高浓度P1层(42)、阳极低浓度P1-层(43)、基区N1(44)、阴极低浓度P2-层(45)、阴极高浓度P2层(46)、阴极集电极N+层(47)和阴极短路区P+层(49);所述的上部门极(G1)与上部阳极(A2)或下部门极(G2)与下部阳极(G1)间设有低掺杂浓度的隔离层(50),减小正反并联晶闸管开通、关断的干扰和影响;所述的阴极高浓度P2层(46)表面设有阴极集电极N+层(47)、上部门极(G1)的中心门极P+层、放大门极P+区(48)、阴极短路区P+层(49)。
2.根据权利要求1所述的高压双向晶闸管,其特征在于:所述的半导体芯片(4)的左半部分与右半部分以垂直中心线(12)为界;半导体芯片(4)的右半部分结构,以左半部分晶闸管结构围绕芯片中心点O旋转180°,形成晶闸管的反并联结构,垂直中心线(12)两侧为PNP型结构中心门极区域,并对反并联晶闸管进行隔离;所述的阳极高浓度P1层(42)和阴极高浓度P2层(46)的杂质浓度分布沿径向变化,在结终端区(51)为低浓度杂质。
3.根据权利要求1或2所述的高压双向晶闸管,其特征在于:所述的阳极发射极P+层(41)、阴极短路区P+层(49)表面杂质浓度为0.8~4.5×1020/cm3,结深为8~16μm或16~22μm;阳极高浓度P1层(42)、阴极高浓度P2层(46)表面杂质浓度为0.5~1.2×1018/cm3,结深为32~45μm或45~60μm;阳极低浓度P1-层(43)、阴极低浓度P2-层(45)表面杂质浓度为0.3~3.0×1016/cm3,结深为90~120μm或120~145μm;阴极集电极N+层(47)表面杂质浓度为0.9~6.5×1020/cm3或4.0~9.0×1019/cm3,结深为10~16μm或16~25μm。
4.根据权利要求1或2所述的高压双向晶闸管,其特征在于:所述的低掺杂浓度的隔离层(50)的宽度为基区N1(44)厚度的2.2~3.0倍。
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