[实用新型]基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置有效
| 申请号： | 201721741003.6 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN207610952U | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 杨庆喜;李雪军;宋云涛;陈永华;陈根 | 申请（专利权）人： | 合肥中科离子医学技术装备有限公司 |
| 主分类号： | G01N7/14 | 分类号： | G01N7/14 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测试室 真空规管 样品室 气路转换 双测试室 本实用新型 材料放气 测量 插板阀 离子泵 率测量 通孔 测量精度高 读取 不确定度 测量过程 待测材料 连接分子 放气率 机械泵 角阀 对称 延伸 | ||
【权利要求书】：
1.基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置，包括样品室(1)，其特征在于，所述样品室(1)两侧分别设有第一测试室(2)和第二测试室(3)，所述第一测试室(2)通过第一通孔(21)与样品室(1)相连通，所述第二测试室(3)通过第二通孔(31)与样品室(1)相连通；
所述第一测试室(2)连接第一真空规管(41)，所述样品室(1)连接第二真空规管(42)，所述第二测试室(3)连接第三真空规管(43)；
所述第一测试室(2)通过角阀(5)连接分子泵(6)，所述分子泵(6)连接机械泵(7)；
所述第一测试室(2)和第二测试室(3)均连接离子泵(8)，所述第一测试室(2)与离子泵(8)之间设有第一插板阀(91)，所述第二测试室(3)与离子泵(8)之间设有第二插板阀(92)。
2.根据权利要求1所述的基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置，其特征在于，所述第一通孔(21)和第二通孔(31)的流导值相同。
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