[实用新型]基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置

说明书

本实用新型公开了一种基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置，包括样品室，样品室两侧设有第一测试室和第二测试室，第一测试室和第二测试室分别通过第一通孔和第二通孔与样品室相连通，第一测试室连接第一真空规管，样品室连接第二真空规管，第二测试室连接第三真空规管，第一测试室通过角阀连接分子泵和机械泵，第一测试室通过第一插板阀连接离子泵，第二测试室通过第二插板阀连接离子泵；本实用新型采用双测试室对称气路转换结构，在测量待测材料样品的放气率时，仅需读取同一真空规管显示的真空度数值进行计算，有效避免了不同真空规管测量过程中产生的误差，测量精度高，不确定度小，且延伸了测量下限，测量范围宽。

技术领域

本实用新型属于真空材料测量技术领域，涉及一种材料放气率测量装置，具体是一种基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置。

背景技术

放置于真空环境中的材料会产生以下三种形式的放气现象：1、在大气环境中吸附在材料表面气体的脱附；2、溶解在材料内部的气体通过扩散而放出；3、材料自身的蒸发、分解。

现代科研及工业生产中越来越多的使用到真空环境，例如航天器地面试验、真空镀膜、半导体加工等。因此，国内外一直开展着真空材料出放气相关的研究工作。随着实验、生产环境需求的逐步提高，对真空材料放气率测量的要求也不断提高。

目前，现有的真空材料放气率测量装置和测量方法普遍存在测量精度低，不确定度大，测量范围窄等缺点。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置，使得真空材料放气率的测量精度高，不确定度小，且延伸了测量下限，测量范围宽。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置，包括样品室，所述样品室两侧分别设有第一测试室和第二测试室，所述第一测试室通过第一通孔与样品室相连通，所述第二测试室通过第二通孔与样品室相连通；

所述第一测试室连接第一真空规管，所述样品室连接第二真空规管，所述第二测试室连接第三真空规管；

所述第一测试室通过角阀连接分子泵，所述分子泵连接机械泵；

所述第一测试室和第二测试室均连接离子泵，所述第一测试室与离子泵之间设有第一插板阀，所述第二测试室与离子泵之间设有第二插板阀。

进一步地，所述第一通孔和第二通孔的流导值相同，所述流导值记为 C。

本实用新型的有益效果：本实用新型提供的材料放气率测量装置，采用双测试室对称气路转换结构，在测量待测材料样品的放气率时，仅需读取同一真空规管显示的真空度数值进行计算，有效避免了不同真空规管测量过程中产生的误差，使得真空材料放气率的测量精度高，不确定度小，且延伸了测量下限，测量范围宽。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细描述。

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“开孔”、“上”、“下”、“厚度”、“顶”、“中”、“长度”、“内”、“四周”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。