[实用新型]一种自动对焦装置

权利要求书

1.一种自动对焦装置，包括自动对焦装置(13)与气浮运动平台(14)，其特征在于，所述自动对焦装置(13)包括步进电机(1)、Z轴(2)、支架(11)、Y轴平台(3)、光学头(4)以及位移传感器(6)，所述步进电机(1)固定设置在Z轴(2)顶端，所述Y轴平台(3)上设置有多个安装孔，Y轴平台(3)通过定位螺栓(12)与Z轴(2)相连接，所述支架(11)从上到下依次固定有光学头(4)和位移传感器(6)，所述支架(11)与Z轴(2)的一侧固定连接；所述气浮运动平台(14)包括在上端的支撑玻璃(7)的限位装置(8)和设置在下端的传输装置(9)以及中间设置的玻璃气浮支撑平台，所述传输装置(9)可以在二维方向进行传输移动。

2.根据权利要求1所述的自动对焦装置，其特征在于，所述Y轴平台(3)上设置有与Z轴(2)位置对应、大小相等的安装孔。

3.根据权利要求1所述的自动对焦装置，其特征在于，所述位移传感器(6)为激光位移传感器。

4.根据权利要求1所述的自动对焦装置，其特征在于，所述支架(11)上设置有与Z轴(2)位置对应、大小相等的安装孔。

5.根据权利要求4所述的自动对焦装置，其特征在于，所述支架(11)与Z轴(2)通过定位螺栓连接。

6.根据权利要求1所述的自动对焦装置，其特征在于，所述传输装置(9)与气浮相对独立，无接触面。

7.根据权利要求1所述的自动对焦装置，其特征在于，所述二维方向包括X轴和Y轴方向。

8.根据权利要求1所述的自动对焦装置，其特征在于，所述光学头(4)的物镜端设置有测距仪(5)。