[实用新型]一种自动对焦装置

说明书

本实用新型涉及玻璃对焦技术领域，具体涉及一种自动对焦装置，包括自动对焦装置与气浮运动平台，自动对焦装置包括步进电机、Z轴、支架、Y轴平台、光学头以及位移传感器，步进电机固定设置在Z轴顶端，Y轴平台上设置有多个安装孔，Y轴平台通过定位螺栓与Z轴相连接，支架从上到下依次固定有光学头和位移传感器，支架与Z轴的一侧固定连接气浮运动平台包括在上端的支撑玻璃的限位装置和设置在下端的传输装置以及中间设置的玻璃气浮支撑平台，所述传输装置可以在一维方向进行传输移动，解决了现有技术中玻璃在气浮上往复运动时光学头容易产生离焦的现象，进而影响拍照清晰度的技术缺陷。本实用新型将光学头与玻璃间的相对高度波动控制在±10um以内的目标，减少了光学头的离焦状况，有效降低了翘曲对拍照的影响。

技术领域

本实用新型涉及玻璃对焦领域，具体涉及一种自动对焦装置。

背景技术

现阶段玻璃在气浮上往复运动时，玻璃在扫描线处的首尾飘高会呈现出翘曲波形，当翘曲部分超过了日常设定值，就会导致光学头产生离焦现象，进而影响拍照清晰度，需根据玻璃在精密气浮的面形特点来规划Mapping方案，补偿掉翘曲部分的影响。气浮扫描平台主要是携带玻璃进行二维运动，并通过Z方向位移传感器进行精确拍照定位，从而实现对玻璃基板的实时调焦、调平功能。为了达到高定位精度，扫描平台采用精密气浮组件进行玻璃基片的支撑、导向。

玻璃飘高呈现翘曲波形源于玻璃首尾通过扫描线时气浮对玻璃的控制会有一个过渡过程所致，现有技术中自动对焦系统始终存在着玻璃翘曲问题，使得光学头的离焦状况时有发生，也对拍照等一系列后续活动产生不良影响。

实用新型内容

针对现有技术问题中玻璃在气浮上往复运动时光学头产生离焦现象，进而影响拍照清晰度的技术缺陷。本实用新型提供一种新的自动对焦装置，该自动对焦装置针对玻璃翘曲的改善效果显著，将光学头与玻璃间的相对高度波动控制在±10um以内的目标，减少了光学头的离焦状况，有效降低了翘曲对拍照的影响。

本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：

一种自动对焦装置，包括自动对焦装置与气浮运动平台，所述自动对焦装置包括步进电机、Z轴、支架、Y轴平台、光学头以及位移传感器，所述步进电机固定设置在Z轴顶端，所述Y轴平台上设置有多个安装孔，Y轴平台通过定位螺栓与Z轴相连接，所述支架从上到下依次固定有光学头和位移传感器，所述支架与Z轴的一侧固定连接；所述气浮运动平台包括在上端的支撑玻璃的限位装置和设置在下端的传输装置以及中间设置的玻璃气浮支撑平台，所述传输装置可以在二维方向进行传输移动。

作为进一步的改进，所述Y轴平台上设置有与Z轴位置对应、大小相等的安装孔。

作为进一步的改进，所述位移传感器为激光位移传感器。

作为进一步的改进，所述支架上设置有与Z轴位置对应、大小相等的安装孔。

作为进一步的改进，所述支架与Z轴通过定位螺栓连接。

作为进一步的改进，所述传输装置与气浮相对独立，无接触面。

作为进一步的改进，所述二维方向包括X轴和Y轴方向。

作为进一步的改进，所述光学头的物镜端设置有测距仪。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

效果一，本实用新型的自动对焦装置运用步进电机控制Z轴的伸缩，同时在光学头的物镜端设置有测距仪，因此可以精确的调节光学头与气浮平台上玻璃的距离，大大减少了光学头的离焦状况，有效降低了翘曲对拍照的影响；

效果二，本实用新型调节气浮运动平台调节的是二维(X轴与Y轴)的方向，自动对焦装置通过Z轴调节光学头与气浮平台的距离，保证了三维空间都能够实现距离的调整，降低了发生相对翘曲的概率。

附图说明