[实用新型]一种集成有反馈式温控装置的抛光盘夹具有效
| 申请号： | 201721754743.3 | 申请日： | 2017-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN207669066U | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 曹慧强;计时鸣;潘烨;赵军;郑晨亮 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B41/06;B24B49/00 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 同心环槽 抛光盘 夹具 被加工件 沉头座 小螺纹 本实用新型 温控装置 抛光 反馈式 工件加工过程 温度检测功能 自动加热功能 被加工工件 温度传感器 尺寸一致 大小一致 工件表面 夹具中心 局部加热 人工操作 实时检测 原理实现 周向分布 自动实现 加热片 底面 底座 加热 反馈 检测 加工 保证 | ||
1.一种集成有反馈式温控装置的抛光盘夹具，包括抛光盘夹具(1)和底座(4)，所述抛光盘夹具(1)中心设有沉头座，沉头座的直径略大于工件(9)的直径，沉头座的深度略小于工件(9)的厚度，需要被加工的工件(9)直接放置在抛光盘夹具(1)中心的沉头座上；所述抛光盘夹具(1)沿着周向开设有多个沉头孔(2)，对应的底座(4)上开设有对应数量的螺纹孔，抛光盘夹具(1)和底座(4)通过穿过沉头孔(2)和螺纹孔的螺钉(7)固定连接；所述沉头座的底面上还设置有多个吸附孔(6)，抛光盘夹具(1)和底座(4)设置有与吸附孔(6)相连通的真空腔(11)，所述真空腔(11)通过设置在底座(4)上的排气孔(10)连接外置真空发生装置；其特征在于：还包括加热片(5)和温度传感器(3)，所述沉头座底面布置四条同心环槽，每条同心环槽内均设置有与对应同心环槽大小一致且深度相同的加热片(5)；相邻的同心环槽之间的沉头座底面上还设置有多个沿周向分布的小螺纹孔，每个小螺纹孔内安装有尺寸与小螺纹孔的尺寸一致的温度传感器(3)。
2.根据权利要求1所述的一种集成有反馈式温控装置的抛光盘夹具，其特征在于：所述加热片(5)通过胶粘或者螺钉(7)连接的方式安装在抛光盘夹具(1)的四条同心环槽内。
3.根据权利要求1所述的一种集成有反馈式温控装置的抛光盘夹具，其特征在于：所述抛光盘夹具(1)底部设置有凹槽且在其凹槽内设置有环形的凸台，所述底座(4)上设置有凹槽，抛光盘夹具(1)底部的凸台与底座(4)上凹槽过渡配合。
4.根据权利要求3所述的一种集成有反馈式温控装置的抛光盘夹具，其特征在于：所述抛光盘夹具(1)和底座(4)通过密封圈(8)密封。
5.根据权利要求4所述的一种集成有反馈式温控装置的抛光盘夹具，其特征在于：密封圈(8)安装在抛光盘夹具(1)底部的凹槽内。
6.根据权利要求2所述的一种集成有反馈式温控装置的抛光盘夹具，其特征在于：每相邻的同心环槽之间均设置有六个小螺纹孔，且每个小螺纹孔内的温度传感器(3)均通过螺钉(7)固定在小螺纹孔内。
7.根据权利要求6所述的一种集成有反馈式温控装置的抛光盘夹具，其特征在于：相邻两条同心环槽之间的间距均相等。
8.根据权利要求1所述的一种集成有反馈式温控装置的抛光盘夹具，其特征在于：所述吸附孔(6)的直径为1mm，所述吸附孔(6)均匀布满在整个沉头座的底面除了四条同心环槽和所有的小螺纹孔以外的位置。
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