[实用新型]一种集成有反馈式温控装置的抛光盘夹具

说明书

本实用新型公开了一种集成有反馈式温控装置的抛光盘夹具，包括抛光盘夹具和底座，所述抛光盘夹具中心设有沉头座，所述沉头座底面布置四条同心环槽，每条同心环槽内均设置有与对应同心环槽大小一致且深度相同的加热片；相邻的同心环槽之间的沉头座底面上还设置有多个沿周向分布的小螺纹孔，每个小螺纹孔内安装有尺寸与小螺纹孔的尺寸一致的温度传感器。本实用新型可以在抛光被加工的工件的过程中实时检测被加工件表面的温度，不需要暂停加工过程；可以在抛光被加工工件的过程中实时对被加工件表面进行加热，不需要暂停加工过程；通过检测温度和局部加热工件，能够使工件加工过程中局部温度得到控制，可以自动实现工件表面温度检测功能，且基于反馈原理实现工件的自动加热功能，减少人工操作，从而使得被加工件的表面尺寸精度和形状精度得到保证。

技术领域

本实用新型涉及工件表面温控装置领域，更具体的说，尤其涉及一种集成有带反馈式温控装置的抛光盘夹具。

背景技术

气-液-固三相磨粒流抛光作为磨削的特殊形式，应用于脆硬材料表面的处理中，以提高脆硬材料表面平面度，去除研磨加工留下的损伤和划痕，以获得较好的表面形状要求。气-液-固三相磨粒流抛光温度是加工时由磨削热和磨粒、气泡和液体对流换热所引起的工件温升的一个总称，抛光中温度的控制极其重要，温度分布对流体中能量分布和工件的加工质量影响较大。工件表面的温度分布参数跟被加工工件的尺寸精度和形状精度有紧密的联系。在对单晶硅薄片进行加工时，由于磨粒流与工件接触的不均匀性，导致被加工工件表面温度不一致，被加工工件表面的温度变化导致工件热胀冷缩，影响被加工工件表面尺寸精度和形状精度，从而很容易导致被加工工件不合格，大大增加了加工成本，因此若需要控制被加工工件表面尺寸精度和形状精度趋于一致，就必须要对正在加工过程中的工件表面温度进行检测，然后根据被检测的温度进行加热处理，使工件表面的温度趋于一致，这样加工出来的工件表面尺寸精度和形状精度会大大提高，工件加工质量较高。所以设计出一种集成有反馈式温控装置的抛光盘夹具对单晶硅片等光学元件的加工具有重大意义。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决上述现有技术中的缺陷，提出一种集成有反馈式温控装置的抛光盘夹具，能够使工件在被加工的过程中能够保持表面温度的一致，进而保证被加工工件表面尺寸精度和形状精度相同。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：一种集成有反馈式温控装置的抛光盘夹具，包括抛光盘夹具和底座，所述抛光盘夹具中心设有沉头座，沉头座的直径略大于工件的直径，沉头座的深度略小于工件的厚度，需要被加工的工件直接放置在抛光盘夹具中心的沉头座上；所述抛光盘夹具沿着周向开设有多个沉头孔，对应的底座上开设有对应数量的螺纹孔，抛光盘夹具和底座通过穿过沉头孔和螺纹孔的螺钉固定连接；所述沉头座的底面上还设置有多个吸附孔，抛光盘夹具和底座设置有与吸附孔相连通的真空腔，所述真空腔通过设置在底座上的排气孔连接外置真空发生装置；还包括加热片和温度传感器，所述沉头座底面布置四条同心环槽，每条同心环槽内均设置有与对应同心环槽大小一致且深度相同的加热片；相邻的同心环槽之间的沉头座底面上还设置有多个沿周向分布的小螺纹孔，每个小螺纹孔内安装有尺寸与小螺纹孔的尺寸一致的温度传感器。

进一步的，所述加热片通过胶粘或者螺钉连接的方式安装在抛光盘夹具的四条同心环槽内。

进一步的，所述抛光盘夹具底部设置有凹槽且在其凹槽内设置有环形的凸台，所述底座上设置有凹槽，抛光盘夹具底部的凸台与底座上凹槽过渡配合。

进一步的，所述抛光盘夹具和底座通过密封圈密封。

进一步的，密封圈安装在抛光盘夹具底部的凹槽内。

进一步的，每相邻的同心环槽之间均设置有六个小螺纹孔，且每个小螺纹孔内的温度传感器均通过螺钉固定在小螺纹孔内。

进一步的，相邻两条同心环槽之间的间距均相等。

进一步的，所述吸附孔的直径为1mm，所述吸附孔均匀布满在整个沉头座的底面除了四条同心环槽和所有的小螺纹孔以外的位置。