[实用新型]一种抛光装置及ECV测试设备

权利要求书

1.一种抛光装置，其特征在于，包括：

上盖(1)，所述上盖(1)设置有上凹槽(11)，所述上凹槽(11)的中间位置处设置有上凸台(12)；

下盖(2)，所述下盖(2)设置有下凹槽(21)，所述下凹槽(21)的中间位置处设置有下凸台(22)，所述上盖(1)与所述下盖(2)能够上下扣合使所述上凹槽(11)与所述下凹槽(21)共同形成容置抛光液的密闭容置腔，所述上凸台(12)与所述下凸台(22)能够将硅片电池片夹持固定于所述容置腔中；

储液器(3)，所述储液器(3)内储存有抛光液，所述储液器(3)通过进液管(31)连通于所述上凹槽(11)；及

抽液器(4)，所述抽液器(4)通过出液管(41)连通于所述下凹槽(21)。

2.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，还包括上支板(5)以及转动连接于所述上支板(5)一端的下支板(6)；

所述上盖(1)、所述储液器(3)以及所述进液管(31)均设置于所述上支板(5)上，所述下盖(2)、所述抽液器(4)以及所述出液管(41)均设置于所述下支板(6)上，且所述上盖(1)与所述下盖(2)对应设置。

3.根据权利要求2所述的抛光装置，其特征在于，所述下支板(6)的一端固定设置有转动座(61)，所述上支板(5)的一端转动连接于所述转动座(61)。

4.根据权利要求2所述的抛光装置，其特征在于，所述下支板(6)上垂直固定有导向杆(62)，所述导向杆(62)上套设有支撑弹簧(63)，所述上支板(5)上开设有导向孔(51)，所述导向杆(62)从所述导向孔(51)中穿出，所述支撑弹簧(63)位于所述上支板(5)和所述下支板(6)之间。

5.根据权利要求2所述的抛光装置，其特征在于，所述上盖(1)固定于所述上支板(5)的下侧，所述储液器(3)以及所述进液管(31)固定于所述上支板(5)的上侧，所述上支板(5)上设置有供所述进液管(31)通过的过孔(52)。

6.根据权利要求2所述的抛光装置，其特征在于，所述下支板(6)上设置有卡钩(64)，所述上支板(5)上设置有与所述卡钩(64)配合的卡槽(53)。

7.根据权利要求6所述的抛光装置，其特征在于，所述卡钩(64)呈T型结构，所述卡钩(64)转动设置于所述下支板(6)上，所述卡槽(53)为设置于所述上支板(5)一端的半圆形槽。

8.根据权利要求1-7任一所述的抛光装置，其特征在于，所述上盖(1)设置有上磁体(13)，所述上磁体(13)围绕所述上凹槽(11)设置，所述下盖(2)设置有与所述上磁体(13)相配合的下磁体(23)，所述下磁体(23)围绕所述下凹槽(21)设置。

9.根据权利要求1-7任一所述的抛光装置，其特征在于，所述上凹槽(11)和所述下凹槽(21)均为圆形凹槽，所述上凸台(12)和所述下凸台(22)均为圆柱形凸台。

10.一种ECV测试设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一所述的抛光装置。