[实用新型]一种抛光装置及ECV测试设备

说明书

本实用新型属于电池片测试技术领域，公开了一种抛光装置及ECV测试设备。其中，抛光装置包括上盖、下盖、储液器以及抽液器。上盖上设置有上凹槽，上凹槽的中间位置处设置有上凸台。下盖上设置有下凹槽，下凹槽的中间位置处设置有下凸台。储液器内储存有抛光液，其通过进液管连通于上凹槽。抽液器通过出液管连通于下凹槽。其中，ECV测试设备包括上述抛光装置。本实用新型中，通过凸台与凹槽的配合最终在硅片电池片上抛光得到环形的抛光区域，使得经该装置抛光的硅片电池片在ECV测试时不易漏液。

技术领域

本实用新型涉及电池片测试技术领域，尤其涉及一种抛光装置及ECV测试设备。

背景技术

随着太阳能光伏产业的兴起，硅片电池片应用越来越广泛，对硅片电池片的质量要求越来越高，这就需要在生产过程中对硅片电池片的扩散后结深及浓度分布情况进行测试。

在现有技术当中，对硅片电池进行相关测试时通常采用电化学微分电容电压法(Electrochemical capacitance-voltage profiler)，简称ECV测试。该方法是利用电解液来形成势垒对硅片电池加以正向偏压(p型)或反向偏压(Cn型并加以光照)进行表面腐蚀去除己电解的材料，通过自动装置重复“腐蚀一测量”循环得到测量曲线，然后应用法拉第定律，对腐蚀电流进行积分就可以连续得到腐蚀深度。

ECV测试通常采用半导体晶圆扩散领域的测试仪器进行，但是，与晶圆表面的抛光面不同，硅片电池片的表面是粗糙的绒面，导致压合不严经常漏液，影响仪器的安全性和测试精度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种抛光装置，能够使抛光后的硅片电池片在ECV测试时避免漏液。

本实用新型的另一目的在于提供一种ECV测试设备，其在对硅片电池片测试时安全可靠，不易漏液。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种抛光装置，包括：

上盖，所述上盖设置有上凹槽，所述上凹槽的中间位置处设置有上凸台；

下盖，所述下盖设置有下凹槽，所述下凹槽的中间位置处设置有下凸台，所述上盖与所述下盖能够上下扣合使所述上凹槽与所述下凹槽共同形成容置抛光液的密闭容置腔，所述上凸台与所述下凸台能够将硅片电池片夹持固定于所述容置腔中；

储液器，所述储液器内储存有抛光液，所述储液器通过进液管连通于所述上凹槽；及

抽液器，所述抽液器通过出液管连通于所述下凹槽。

作为优选，还包括上支板以及转动连接于所述上支板一端的下支板；所述上盖、所述储液器以及所述进液管固定于所述上支板上，所述下盖、所述抽液器以及所述出液管固定于所述下支板上，且所述上盖与所述下盖对应设置。上述设置，使得上盖和下盖的对位更加方便快捷，使得储液器和抽液器的安装更加安全可靠。

作为优选，所述下支板的一端固定设置有转动座，所述上支板的一端转动连接于所述转动座。上述转动座的设置，使得上支板与下支板之间的连接结构更加可靠。

作为优选，所述下支板上垂直固定有导向杆，所述导向杆上套设有支撑弹簧，所述上支板上开设有导向孔，所述导向杆从所述导向孔中穿出，所述支撑弹簧位于所述上支板和所述下支板之间。上述导向杆与导向孔的配合设置，使得上支板与下支板之间的开合更加稳定，在此基础上支撑弹簧在开合过程中起到缓冲的作用。

作为优选，所述上盖固定于所述上支板的下侧，所述储液器以及所述进液管固定于所述上支板的上侧，所述上支板上设置有供所述进液管通过的过孔。上述设置，使得储液器从容置腔顶部注入抛光液，注入过程安全可靠，对硅片电池片的覆盖更完全。