[实用新型]一种蒸镀载板及蒸镀装置有效
申请号: | 201721763249.3 | 申请日: | 2017-12-15 |
公开(公告)号: | CN207581924U | 公开(公告)日: | 2018-07-06 |
发明(设计)人: | 刘肖楠;宋锐男;于森;宋裕斌;谢飞;李坡;吕冲;曾义红;唐富强;靳福江;安成国 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蒸镀基板 蒸镀 载板 底板 支撑 显示区域 蒸镀装置 本实用新型 分离设置 白点 正投影 点亮 弧面 凸起 承载 | ||
1.一种蒸镀载板,用于承载待蒸镀基板,所述待蒸镀基板包括多个子蒸镀基板,其特征在于,所述蒸镀载板包括:底板和设置在所述底板上多个分离设置的支撑块,一个所述支撑块对应一个所述子蒸镀基板,所述支撑块在所述待蒸镀基板上的正投影与所述支撑块对应的所述子蒸镀基板的显示区域重叠,且重叠面积大于所述显示区域面积的1/3,小于所述子蒸镀基板的面积;
其中,所述支撑块用于与所述待蒸镀基板接触的表面为平面或者为向远离所述底板一侧凸起的弧面。
2.根据权利要求1所述的蒸镀载板,其特征在于,所述支撑块在所述待蒸镀基板上的正投影与所述支撑块对应的所述子蒸镀基板的显示区域完全重叠。
3.根据权利要求1所述的蒸镀载板,其特征在于,所述支撑块用于与所述待蒸镀基板接触的表面为向远离所述底板一侧凸起的弧面,所述弧面的弧度为0~π/36。
4.根据权利要求3所述的蒸镀载板,其特征在于,所述弧面呈中心对称。
5.根据权利要求1-4任一项所述的蒸镀载板,其特征在于,所述支撑块的材料为磁性材料。
6.根据权利要求1所述的蒸镀载板,其特征在于,所述支撑块的侧面设置有与所述支撑块固定连接的凸耳;
所述蒸镀载板还包括固定部件,所述固定部件将所述凸耳与所述底板固定,以将所述支撑块固定在所述底板上。
7.根据权利要求6所述的蒸镀载板,其特征在于,所述固定部件为螺栓或螺钉。
8.根据权利要求6或7所述的蒸镀载板,所述支撑块的材料为非磁性材料。
9.根据权利要求6所述的蒸镀载板,其特征在于,所述支撑块用于与所述待蒸镀基板接触的表面为向远离所述底板一侧凸起的弧面,所述支撑块包括层叠设置的平坦层和凸起部;所述平坦层相对于所述凸起部靠近所述底板。
10.根据权利要求9所述的蒸镀载板,其特征在于,所述凸耳设置于所述平坦层的侧面。
11.根据权利要求1-4任一项所述的蒸镀载板,其特征在于,多个所述支撑块用于与所述待蒸镀基板接触的表面构成的曲面为球冠。
12.一种蒸镀装置,其特征在于,包括权利要求1-11任一项所述的蒸镀载板。
13.根据权利要求12所述的蒸镀装置,其特征在于,所述蒸镀装置还包括设置在底板远离支撑块一侧的磁板或多个磁块,所述磁块或所述磁板用于吸附掩模板。
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