[实用新型]一种蒸镀载板及蒸镀装置

说明书

本实用新型实施例提供一种蒸镀载板及蒸镀装置，用于蒸镀技术领域，解决了待蒸镀基板在点亮时出现白点异常的问题。该蒸镀载板用于承载待蒸镀基板，所述待蒸镀基板包括多个子蒸镀基板，所述蒸镀载板包括：底板和设置在所述底板上多个分离设置的支撑块，一个所述支撑块对应一个所述子蒸镀基板，所述支撑块在所述待蒸镀基板上的正投影与所述支撑块对应的所述子蒸镀基板的显示区域重叠，且重叠面积大于所述显示区域面积的1/3，小于所述子蒸镀基板的面积；其中，所述支撑块用于与所述待蒸镀基板接触的表面为平面或者为向远离所述底板一侧凸起的弧面。用于蒸镀工序中。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀载板及蒸镀装置。

背景技术

真空蒸镀法是在真空蒸镀室中通过蒸镀源对蒸镀材料进行加热，使蒸镀材料的原子或分子从其表面气化逸出形成蒸汽流，通过掩模板上的图案，最后在待蒸镀基板上凝结，形成图案化薄膜的方法。目前，真空蒸镀法已广泛应用于OLED器件的制备。

利用蒸镀装置进行真空蒸镀，蒸镀装置中一般都设置有蒸镀载板(Touch Plate，简称TP)，利用蒸镀载板来承载待蒸镀基板，蒸镀载板用于承载待蒸镀基板的一侧常设置有多个凸起，由于待蒸镀基板中与蒸镀载板的凸起接触的位置和其它位置的温度以及受到的应力不相同，因而当在待蒸镀基板上形成蒸镀膜层，最终形成显示面板后，显示面板在点亮时与凸起正对的位置会出现白点异常，从而影响了显示面板的性能。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种蒸镀载板及蒸镀装置，解决了待蒸镀基板在点亮时出现白点异常的问题。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一方面，提供一种蒸镀载板，用于承载待蒸镀基板，所述待蒸镀基板包括多个子蒸镀基板，所述蒸镀载板包括：底板和设置在所述底板上多个分离设置的支撑块，一个所述支撑块对应一个所述子蒸镀基板，所述支撑块在所述待蒸镀基板上的正投影与所述支撑块对应的所述子蒸镀基板的显示区域重叠，且重叠面积大于所述显示区域面积的1/3，小于所述子蒸镀基板的面积；其中，所述支撑块用于与所述待蒸镀基板接触的表面为平面或者为向远离所述底板一侧凸起的弧面。

优选的，所述支撑块在所述待蒸镀基板上的正投影与所述支撑块对应的所述子蒸镀基板的显示区域完全重叠。

优选的，所述支撑块用于与所述待蒸镀基板接触的表面为向远离所述底板一侧凸起的弧面，所述弧面的弧度为0～π/36。

优选的，所述弧面呈中心对称。

优选的，所述支撑块的材料为磁性材料。

优选的，所述支撑块的侧面设置有与所述支撑块固定连接的凸耳；所述蒸镀载板还包括固定部件，所述固定部件将所述凸耳与所述底板固定，以将所述支撑块固定在所述底板上。

进一步优选的，所述固定部件为螺栓或螺钉。

优选的，所述支撑块的材料为非磁性材料。

优选的，所述支撑块用于与所述待蒸镀基板接触的表面为向远离所述底板一侧凸起的弧面，所述支撑块包括层叠设置的平坦层和凸起部；所述平坦层相对于所述凸起部靠近所述底板。

进一步优选的，所述凸耳设置于所述平坦层的侧面。

优选的，多个所述支撑块用于与所述待蒸镀基板接触的表面构成的曲面为球冠。

另一方面，提供一种蒸镀装置，包括上述的蒸镀载板。

优选的，所述蒸镀装置还包括设置在底板远离支撑块一侧的磁板或多个磁块，所述磁块或所述磁板用于吸附掩模板。