[实用新型]游星轮组件及其抛光装置有效
申请号: | 201721773581.8 | 申请日: | 2017-12-18 |
公开(公告)号: | CN207757439U | 公开(公告)日: | 2018-08-24 |
发明(设计)人: | 冯光建;夏秋良 | 申请(专利权)人: | 苏州新美光纳米科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/34 | 分类号: | B24B37/34 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 周宇 |
地址: | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 游星轮 抛光件 抛光装置 外圆周面 形貌 传动结构 内圆周面 挤压 半导体技术领域 抛光工艺过程 本实用新型 待加工件 面相接触 抛光液 外圆周 抛光 开孔 内壁 | ||
1.一种游星轮组件,其特征在于,包括:游星轮(100),所述游星轮(100)具有开孔,所述游星轮(100)的内圆周面设有传动结构,所述传动结构与待抛光件(200)的外圆周面相接触,且所述传动结构用于保护待抛光件(200)的外圆周面。
2.根据权利要求1所述的游星轮组件,其特征在于,所述传动结构包括设置在所述游星轮(100)的内圆周面的多个凸起(300),各所述凸起(300)沿所述游星轮(100)的径向向内设置。
3.根据权利要求1所述的游星轮组件,其特征在于,所述传动结构包括设置在所述游星轮(100)的内圆周面的中间圆环(400),所述中间圆环(400)的外圆周面与所述游星轮(100)的内圆周面相接触。
4.根据权利要求3所述的游星轮组件,其特征在于,所述中间圆环(400)的内圆周面上设有多个凸起(300),各所述凸起(300)沿所述中间圆环(400)的径向向内设置。
5.根据权利要求4所述的游星轮组件,其特征在于,所述凸起(300)设在所述游星轮(100)上,所述凸起(300)和所述游星轮(100)的材质相同,两者一体成型;或者是,所述凸起(300)和所述游星轮(100)的材质不同,所述凸起(300)和所述游星轮(100)采用可拆卸式固定连接;
所述凸起(300)设在所述中间圆环(400)上,所述凸起(300)和所述中间圆环(400)的材质相同,两者一体成型;或者是,所述凸起(300)和所述中间圆环(400)的材质不同,所述凸起(300)和所述中间圆环(400)采用可拆卸式固定连接。
6.根据权利要求5所述的游星轮组件,其特征在于,沿待抛光件(200)的轴线方向,各所述凸起(300)的厚度不大于所述游星轮(100)的厚度。
7.根据权利要求5所述的游星轮组件,其特征在于,沿待抛光件(200)的轴线方向,所述凸起(300)由上至下依次设置有多组,其中每一组中包括多个所述凸起(300)。
8.根据权利要求2、4、6-7任一项所述的游星轮组件,其特征在于,所述凸起(300)的横截面形状采用圆形、半圆形、三角形、方形中的任一种。
9.根据权利要求2、4、6-7任一项所述的游星轮组件,其特征在于,所述凸起(300)采用滚轮的结构形式,所述滚轮的轴线方向与待抛光件(200)的轴线相平行,所述滚轮枢接在所述游星轮(100)的内圆周面上。
10.一种抛光装置,其特征在于,包括上述权利要求1-9任一项所述的游星轮组件。
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