[实用新型]游星轮组件及其抛光装置有效

专利信息
申请号: 201721773581.8 申请日: 2017-12-18
公开(公告)号: CN207757439U 公开(公告)日: 2018-08-24
发明(设计)人: 冯光建;夏秋良 申请(专利权)人: 苏州新美光纳米科技有限公司
主分类号: B24B37/34 分类号: B24B37/34
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 周宇
地址: 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 游星轮 抛光件 抛光装置 外圆周面 形貌 传动结构 内圆周面 挤压 半导体技术领域 抛光工艺过程 本实用新型 待加工件 面相接触 抛光液 外圆周 抛光 开孔 内壁
【权利要求书】:

1.一种游星轮组件,其特征在于,包括:游星轮(100),所述游星轮(100)具有开孔,所述游星轮(100)的内圆周面设有传动结构,所述传动结构与待抛光件(200)的外圆周面相接触,且所述传动结构用于保护待抛光件(200)的外圆周面。

2.根据权利要求1所述的游星轮组件,其特征在于,所述传动结构包括设置在所述游星轮(100)的内圆周面的多个凸起(300),各所述凸起(300)沿所述游星轮(100)的径向向内设置。

3.根据权利要求1所述的游星轮组件,其特征在于,所述传动结构包括设置在所述游星轮(100)的内圆周面的中间圆环(400),所述中间圆环(400)的外圆周面与所述游星轮(100)的内圆周面相接触。

4.根据权利要求3所述的游星轮组件,其特征在于,所述中间圆环(400)的内圆周面上设有多个凸起(300),各所述凸起(300)沿所述中间圆环(400)的径向向内设置。

5.根据权利要求4所述的游星轮组件,其特征在于,所述凸起(300)设在所述游星轮(100)上,所述凸起(300)和所述游星轮(100)的材质相同,两者一体成型;或者是,所述凸起(300)和所述游星轮(100)的材质不同,所述凸起(300)和所述游星轮(100)采用可拆卸式固定连接;

所述凸起(300)设在所述中间圆环(400)上,所述凸起(300)和所述中间圆环(400)的材质相同,两者一体成型;或者是,所述凸起(300)和所述中间圆环(400)的材质不同,所述凸起(300)和所述中间圆环(400)采用可拆卸式固定连接。

6.根据权利要求5所述的游星轮组件,其特征在于,沿待抛光件(200)的轴线方向,各所述凸起(300)的厚度不大于所述游星轮(100)的厚度。

7.根据权利要求5所述的游星轮组件,其特征在于,沿待抛光件(200)的轴线方向,所述凸起(300)由上至下依次设置有多组,其中每一组中包括多个所述凸起(300)。

8.根据权利要求2、4、6-7任一项所述的游星轮组件,其特征在于,所述凸起(300)的横截面形状采用圆形、半圆形、三角形、方形中的任一种。

9.根据权利要求2、4、6-7任一项所述的游星轮组件,其特征在于,所述凸起(300)采用滚轮的结构形式,所述滚轮的轴线方向与待抛光件(200)的轴线相平行,所述滚轮枢接在所述游星轮(100)的内圆周面上。

10.一种抛光装置,其特征在于,包括上述权利要求1-9任一项所述的游星轮组件。

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