[实用新型]机械手臂对准装置有效
| 申请号： | 201721786352.X | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN207606843U | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 刘普然;黄志凯 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/08 | 分类号： | B25J9/08;B25J9/16 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 机械手臂 阶梯状结构 预对准 光信号发射器 光信号接收器 本实用新型 对准装置 卡盘 相对位置检测 反射光信号 准确度 位置判断 制造工艺 发射光 晶圆 竖直 预设 支架 反射 坡度 对准 自动化 | ||
1.一种机械手臂对准装置，其特征在于，包括：
安装于预对准单元的支架上的第一光信号发射器和第一光信号接收器；
安装于机械手臂竖直方向上的一具有多个坡度的阶梯状结构；
所述第一光信号发射器用于按预设方向向所述阶梯状结构发射光信号；所述第一光信号接收器用于接收经所述阶梯状结构反射的光信号，并根据接收到的反射光信号的位置判断所述机械手臂与所述预对准单元中的卡盘是否对准。
2.根据权利要求1所述的机械手臂对准装置，其特征在于，所述机械手臂包括竖直臂以及与所述竖直臂连接的水平臂，所述阶梯状结构安装于所述竖直臂上。
3.根据权利要求2所述的机械手臂对准装置，其特征在于，所述支架包括竖直支撑部以及与所述竖直支撑部连接的水平支撑部；所述水平支撑部用于承载所述卡盘；所述第一光信号发射器与所述第一光信号接收器安装于所述竖直支撑部上。
4.根据权利要求3所述的机械手臂对准装置，其特征在于，所述阶梯状结构由多个坡度互不相同的台阶按照坡度大小顺序相互叠置构成。
5.根据权利要求4所述的机械手臂对准装置，其特征在于，所述阶梯状结构由三个坡度互不相同的台阶按照坡度大小顺序相互叠置构成。
6.根据权利要求1所述的机械手臂对准装置，其特征在于，所述第一光信号接收器用于判断接收到的反射光信号的位置是否在预设范围内，若是，则确认所述机械手臂与所述卡盘在竖直方向对准。
7.根据权利要求2所述的机械手臂对准装置，其特征在于，还包括第二光信号接收器，所述预对准单元位于所述第二光信号接收器与所述机械手臂之间；所述水平臂上安装有第二光信号发射器和分光器，所述分光器用于将所述第二光信号发射器发射的光线分为预设数量的光束；所述第二光信号接收器用于检测是否接收到预设数量的光束，若是，则确认所述机械手臂与所述卡盘在水平方向对准。
8.根据权利要求7所述的机械手臂对准装置，其特征在于，所述分光器包括半反射透镜和/或全反射透镜。
9.根据权利要求8所述的机械手臂对准装置，其特征在于，所述预设数量的光束为五束光。
10.根据权利要求7所述的机械手臂对准装置，其特征在于，所述第一光信号发射器和所述第二光信号发射器均为红外激光发射器。
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