[实用新型]机械手臂对准装置

说明书

本实用新型提供的机械手臂对准装置，包括：安装于预对准单元的支架上的第一光信号发射器和第一光信号接收器，以及安装于机械手臂竖直方向上的一具有多个坡度的阶梯状结构；所述第一光信号发射器用于按预设方向向所述阶梯状结构发射光信号；所述第一光信号接收器用于接收经所述阶梯状结构反射的光信号，并根据接收到的反射光信号的位置判断所述机械手臂与所述预对准单元中的卡盘是否对准。本实用新型提高了机械手臂与预对准单元中卡盘之间相对位置检测的准确度与自动化程度，确保了晶圆制造工艺的顺利进行。

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种机械手臂对准装置。

背景技术

在晶圆的制造过程中，扫描机台进行晶圆的传输，并通过机械手臂将晶圆传送至预对准单元中，以便进行下一步的处理过程。但是，预对准单元中卡盘与机械手臂之间的相对位置关系会对晶圆的传送效果产生一定的影响：如果所述预对准单元中卡盘与所述机械手臂之间的相对位置不对应，即出现偏离，则所述卡盘与所述机械手臂之间会发生一定的摩擦，从而在卡盘边缘产生毛刺或者变形，最终引起真空侦测异常，导致晶圆传送的失败；而且，机械手臂也会因与卡盘发生撞击而受到影响，缩短了所述机械手臂的使用寿命。为了避免上述问题，现有技术在新装机或者故障处理的过程中，需要预先确认所述卡盘与所述机械手臂两者之间的相对位置关系，避免在晶圆制造流程中两者之间出现摩擦。

目前，都是依靠人工观察、肉眼判断卡盘与机械手臂之间的相对位置关系。但是，由于晶圆制造机台结构紧凑，所以，对机械手臂与卡盘之间相对位置的判断主要是依靠人工预估的方式。然而，人工判断的方式也具有一定的主观性，结合晶圆制造机台本身的结构特点，只能实现对所述卡盘与所述机械手臂之间位置的预估，并不能完全确保两者位置对准，即对卡盘与机械手臂之间的相对位置判断的准确性较低，给后续机台的运行留下了隐患。

因此，如何准确判断机械手臂与预对准单元的相对位置，是目前亟待解决的技术问题。

发明内容

本实用新型提供一种机械手臂对准装置，用以解决现有的机械手臂与预对准单元中卡盘之间相对位置检测的准确度较低的问题。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种机械手臂对准装置，包括：安装于预对准单元的支架上的第一光信号发射器和第一光信号接收器，安装于机械手臂竖直方向上的一具有多个坡度的阶梯状结构；所述第一光信号发射器用于按预设方向向所述阶梯状结构发射光信号；所述第一光信号接收器用于接收经所述阶梯状结构反射的光信号，并根据接收到的反射光信号的位置判断所述机械手臂与所述预对准单元中的卡盘是否对准。

优选的，所述机械手臂包括竖直臂以及与所述竖直臂连接的水平臂，所述阶梯状结构安装于所述竖直臂上。

优选的，所述支架包括竖直支撑部以及与所述竖直支撑部连接的水平支撑部；所述水平支撑部用于承载所述卡盘；所述第一光信号发射器与所述第一光信号接收器安装于所述竖直支撑部上。

优选的，所述阶梯状结构由多个坡度互不相同的台阶按照坡度大小顺序相互叠置构成。

优选的，所述阶梯状结构由三个坡度互不相同的台阶按照坡度大小顺序相互叠置构成。

优选的，所述第一光信号接收器用于判断接收到的反射光信号的位置是否在预设范围内，若是，则确认所述机械手臂与所述卡盘在竖直方向对准。

优选的，还包括第二光信号接收器，所述预对准单元位于所述第二光信号接收器与所述机械手臂之间；所述水平臂上安装有第二光信号发射器和分光器，所述分光器用于将所述第二光信号发射器发射的光线分为预设数量的光束；所述第二光信号接收器用于检测是否接收到预设数量的光束，若是，则确认所述机械手臂与所述卡盘在水平方向对准。

优选的，所述分光器包括半反射透镜和/或全反射透镜。

优选的，所述预设数量的光束为五束光。