[实用新型]全压力微小泄漏精密测量系统有效
| 申请号： | 201721789058.4 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN207610829U | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 刘波;丁立莉;刘卿 | 申请（专利权）人： | 西安航天计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26;G01M3/28;G01M3/34;G01M3/32 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710100 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 定容室 配气室 压规 全压力 球阀 精密测量系统 三通密封 被测件 截止阀 真空泵 泄漏 测量 测量技术领域 仪表控制单元 计时器 本实用新型 测量精度高 压力变化量 便于携带 管路接头 截止阀门 时间累积 泄漏气体 压力平衡 阀连接 体积小 源介质 气瓶 引入 | ||
1.全压力微小泄漏精密测量系统，其特征在于：包括定容室(3)、高精度差压规(5)、仪表控制单元(6)、配气室(4)、真空泵(7)；
所述定容室(3)通过管路、球阀V4(11)与配气室(4)连接；
所述高精度差压规(5)通过管路并联在球阀V4(11)的进口端和出口端；高精度差压规(5)的进口端与出口端分别设有截止阀V2(9)与截止阀V3(10)；
所述仪表控制单元(6)与高精度差压规(5)连接；
所述真空泵(7)通过管路、三通密封阀V5(12)与定容室(3)和配气室(4)连接；
被测件(2)通过管路、截止阀V1(8)与定容室(3)连接。
2.根据权利要求1所述的全压力微小泄漏精密测量系统，其特征在于：还包括计时器(13)，用于测量被测件(2)泄漏时间。
3.根据权利要求2所述的全压力微小泄漏精密测量系统，其特征在于：还包括与被测件(2)连接的气源(1)。
4.根据权利要求3所述的全压力微小泄漏精密测量系统，其特征在于：各连接处均设有连接头，连接头选取螺纹卡套连接，端面设密封件，密封件采用镍合金垫片。
5.根据权利要求4所述的全压力微小泄漏精密测量系统，其特征在于：全部管路均采用316不锈钢材质。
6.根据权利要求5所述的全压力微小泄漏精密测量系统，其特征在于：截止阀V1(8)、截止阀V2(9)、截止阀V3(10)、球阀V4(11)、三通密封阀V5(12)的漏气率均小于10-9Pa.m3/s。
7.根据权利要求6所述的全压力微小泄漏精密测量系统，其特征在于：所述定容室(3)及配气室(4)的材质为高纯度不锈钢，容积均为0.95-1.05L，漏气率小于10-10Pa.m3/s。
8.根据权利要求7所述的全压力微小泄漏精密测量系统，其特征在于：所述高精度差压规(5)的测量精度优于±0.5％FS。
9.根据权利要求8所述的全压力微小泄漏精密测量系统，其特征在于：真空泵(7)采用涡漩式干泵，抽速为2.0l/s。
10.根据权利要求9所述的全压力微小泄漏精密测量系统，其特征在于：气源(1)介质为干燥无杂质气体。
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