[实用新型]全压力微小泄漏精密测量系统

说明书

本实用新型属于测量技术领域，具体涉及一种全压力微小泄漏精密测量系统。由球阀、截止阀、三通密封阀、高精度差压规及仪表控制单元、计时器、真空泵、定容室、配气室、气瓶与管路接头组成，采用球阀通过管路将已知容积的定容室与配气室连接，利用截止阀连接高精度差压规，三通密封阀连接真空泵。将被测件、高精度差压规、定容室及配气室达到压力平衡后，关闭球阀，打开截止阀门，让微小泄漏气体通过管路引入定容室中，通过高精度差压规流向配气室，可以得出被测件随时间累积的压力变化量。具有操作方便，体积小、测量范围宽、测量精度高、不受气源介质干扰，可全压力测量，便于携带，造价低等优点。

技术领域

本实用新型属于测量技术领域，具体涉及一种全压力微小泄漏精密测量系统。

背景技术

目前一些储压容器、阀门、管道及微小电子元器件的检漏测量主要将部件拆解后送到有检漏仪的测量部门进行部位检漏，发现泄漏部位进行堵漏后再组装交付，这样在组装时由于振动及胶圈二次挤压密封件、材料放气率等干扰因素存在，势必会造成局部再次泄漏，而且比较小的元器件或者特殊产品无法二次储压，直接影响交付产品的质量。

也可以通过将检漏仪运送到使用现场进行检漏，采用吸枪法或喷枪法逐段分析，逐段检漏，这样也只能进行局部粗检检漏或整套产品漏率测试，无法进行局部材料放气或密封接头泄漏量测量。

使用检漏仪检漏的优点在于检漏的灵敏度高，数值准确，能够及时发现漏点，及时堵漏，可快速判断产品质量。不足之处在于，检漏仪只能检出漏孔漏率值，无法知道产品压力随时间推移的变化量，且造价昂贵，动辄数万到数十万元不等，一些小的企业无法承受，对使用者要求经过专业培训具备一定操作技能，才能持证上岗。在现场检漏测试时要求不能有大的空气流动，对温度、湿度及周边环境都有一定的限制，也无法长时间对产品进行泄漏追踪，不便于携带，运行的成本费用较高，不利于小微企业推广应用。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对不同压力条件提出一种微小泄漏精密测量系统，解决了利用检漏仪检漏成本高、过程复杂、无法进行泄露追踪、不便携带等问题。

本实用新型的技术解决方案是提供一种全压力微小泄漏精密测量系统，其特殊之处在于：包括定容室、高精度差压规、仪表控制单元、配气室、真空泵；

上述定容室通过管路、球阀V4与配气室连接；

上述高精度差压规通过管路并联在球阀V4的进口端和出口端；高精度差压规的进口端与出口端分别设有截止阀V2与截止阀V3；

上述仪表控制单元与高精度差压规连接；

上述真空泵通过管路、三通密封阀V5与定容室和配气室连接；

被测件通过管路、截止阀V1与定容室连接。

优选地，本实用新型系统还包括计时器，用于测量被测件泄漏时间。

优选地，本实用新型系统还包括与被测件连接的气源。

优选地，各连接处均设有连接头，连接头选取螺纹卡套连接，端面设密封件，密封件采用镍合金垫片。

优选地，全部管路均采用316不锈钢材质。

优选地，截止阀V1、截止阀V2、截止阀V3、球阀V4、三通密封阀V5 的漏气率均小于10^-9Pa.m³/s。

优选地，上述定容室及配气室的材质为高纯度不锈钢，容积均为 0.95-1.05L，漏气率小于10^-10Pa.m³/s。

优选地，上述高精度差压规的测量精度优于±0.5％FS。

优选地，真空泵采用涡漩式干泵，抽速为2.0l/s。