[实用新型]一种清洁装置的EUV灯结构有效
| 申请号： | 201721789659.5 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN207770430U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 吕玉武;吴玉景;陈红晓;王萃梓;蔡晓义;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/04 | 分类号： | B08B11/04 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 彭俊垣 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃基板 清洁装置 本实用新型 灯结构 玻璃基板清洁 装置技术领域 方案解决 局部损坏 可旋转的 照射方向 固定式 腔室 投影 平行 室内 清洁 | ||
【权利要求书】：
1.一种清洁装置的EUV灯结构，其特征在于：包括内部用于放置玻璃基板的腔室；在所述腔室内平行于所述玻璃基板形成有可旋转的EUV灯，所述EUV灯的照射方向正对于所述玻璃基板，且所述EUV灯旋转形成的投影完全覆盖所述玻璃基板。
2.根据权利要求1所述的EUV灯结构，其特征在于：所述EUV灯为扇形，其旋转中心位于所述扇形的圆心处。
3.根据权利要求2所述的EUV灯结构，其特征在于：所述EUV灯呈匀速圆周运动。
4.根据权利要求3所述的EUV灯结构，其特征在于：在所述腔室内设置有用于放置所述玻璃基板的支撑架；在所述支撑架正上方悬置有可旋转的圆形转盘；所述EUV灯贴设于所述转盘的下端面。
5.根据权利要求4所述的EUV灯结构，其特征在于：所述转盘通过伺服电机驱动。
6.根据权利要求5所述的EUV灯结构，其特征在于：在所述转盘的转轴处设置有可升降机构。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的EUV灯结构，其特征在于：所述玻璃基板为AMOLED屏玻璃基板。
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