[实用新型]一种清洁装置的EUV灯结构

说明书

本实用新型涉及玻璃基板清洁装置技术领域，尤其涉及一种清洁装置的EUV灯结构，包括内部用于放置玻璃基板的腔室；在所述腔室内平行于所述玻璃基板形成有可旋转的EUV灯，所述EUV灯的照射方向正对于所述玻璃基板，且所述EUV灯旋转形成的投影完全覆盖所述玻璃基板。本实用新型的发明目的在于提供一种清洁装置的EUV灯结构，采用本实用新型提供的技术方案解决了现有采用固定式EUV灯的清洁装置，无法对玻璃基板进行彻底清洁，以及造成AMOLED屏局部损坏的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及玻璃基板清洁装置技术领域，尤其涉及一种清洁装置的EUV灯结构。

背景技术

AMOLED是英文Active-matrix organic light emitting diode的简写，中文全称是有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体。AMOLED屏幕的构造有三层，AMOLED屏幕、TouchScreenPanel(触控屏面板)和外保护玻璃。

关于AMOLED玻璃基板表面清洁处理方法和装置有很多，例如：EUV工艺处理，去离子水喷淋，风刀，Plasma处理等。传统EUV工艺处理中，玻璃基板放置在腔体内固定位置，使用固定EUV灯进行照射，对基板表面清洁。

采用固定的EUV灯照射时，不能将紫外光均匀地分布在玻璃基板上，这样会造成局部紫外光照射过量，导致阳极金属银层氧化，或者局部照射不足，基板表面未能彻底清洁干净，存在影响产品光电性能的隐患。

实用新型内容

本实用新型的发明目的在于提供一种清洁装置的EUV灯结构，采用本实用新型提供的技术方案解决了现有采用固定式EUV灯的清洁装置，无法对玻璃基板进行彻底清洁，以及造成AMOLED屏局部损坏的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种清洁装置的EUV灯结构，包括内部用于放置玻璃基板的腔室；在所述腔室内平行于所述玻璃基板形成有可旋转的EUV灯，所述EUV灯的照射方向正对于所述玻璃基板，且所述EUV灯旋转形成的投影完全覆盖所述玻璃基板。

优选的，所述EUV灯为扇形，其旋转中心位于所述扇形的圆心处。

优选的，所述EUV灯呈匀速圆周运动。

优选的，在所述腔室内设置有用于放置所述玻璃基板的支撑架；在所述支撑架正上方悬置有可旋转的圆形转盘；所述EUV灯贴设于所述转盘的下端面。

优选的，所述转盘通过伺服电机驱动。

优选的，在所述转盘的转轴处设置有可升降机构。

优选的，所述玻璃基板为AMOLED屏玻璃基板。

由上可知，应用本实用新型可以得到以下有益效果：本实用新型将EUV灯的固定照射模式更换为旋转扫描照射模式，提高了玻璃基板清洁的均一性，改善玻璃基板局部未被彻底清洁的情况，从而提升产品质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对本实用新型实施例或现有技术的描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一部分实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，都属于本实用新型保护的范围。

图1为本实用新型实施例整体结构示意图；

图2为本实用新型实施例条状EUV灯结构示意图；

图3为本实用新型实施例扇形EUV灯结构示意图；

图4为本实用新型实施例扇形EUV灯扫描过程示意图。

具体实施方式