[实用新型]一种CIGS薄膜预处理的系统

说明书

本实用新型提供一种CIGS薄膜预处理的系统，包括：射频电源、电感线圈、工艺腔室、适配模块、阴极板和石英罩。所述电感线圈环绕设置于所述工艺腔室的顶部，所述工艺腔室的底部设置有阴极板，并在所述电感线圈与所述阴极板之间设置衬底。射频电源包括：第一功率电源和第二功率电源，第一功率电源通过适配模块对电感线圈供电，第二功率电源通过适配模块对阴极板供电。在所述射频电压的作用下，所述电感线圈形成的射线透过所述石英罩进入所述工艺腔室，使所述工艺腔室内的工艺气体形成等离子体，所述等离子体在电压作用下向所述阴极板方向运动，并轰击在衬底上CIGS薄膜的凹凸不平处，使CIGS薄膜平整。本实用新型能太阳能电池的吸收率和稳定性。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池薄膜技术领域，尤其涉及一种CIGS薄膜预处理的系统。

背景技术

在现有的太阳能电池技术中，铜铟镓硒(简称CIGS)薄膜太阳能电池具有光吸收能力强，稳定性好、抗辐照性能好、效率高、成本低，可以做成柔性组件，最适合用作光伏电池制作。在CIGS薄膜制备过程主要采用等离子体沉积，但是等离子体是由许多做随机运动的自由带电粒子组成的一个集合。其最简单的形成方法是通过射频电压源驱动两极板，使得在极板间的低压气体产生放电现象，当电流从一个极板流向另一个极板时，气体被“击穿”而产生等离子体。等离子体放电可以产生具有化学活性的物质，在衬底表层上沉积出薄膜。但是，过高的等离子体密度很容易对衬底表面产生过度损伤，导致所制备的薄膜缺陷过高，严重影响器件的效率。同时，射频频率越高，等离子体分布越不均匀，会导致衬底表面的成膜均匀性变差。因此，如何对CIGS薄膜表面平整处理具有巨大的应用前景和经济价值。

实用新型内容

本实用新型提供一种CIGS薄膜预处理的系统，解决现有CIGS薄膜采用等离子体制备过程中，薄膜表面不均匀，存在不平整的问题，能够获得更加平整的薄膜表面，提高CIGS薄膜太阳能电池的吸收率和稳定性。

为实现以上目的，本实用新型提供以下技术方案：

一种CIGS薄膜预处理的系统，包括：射频电源、电感线圈、工艺腔室、适配模块、阴极板和石英罩；

所述电感线圈环绕设置于所述工艺腔室的顶部，所述工艺腔室的底部设置有阴极板，并在所述电感线圈与所述阴极板之间设置衬底；

所述射频电源通过适配模块对所述电感线圈提供第一功率电源，所述射频电源通过适配模块对所述阴极板提供第二功率电源，其中，第一功率大于第二功率；

所述适配模块用于调节所述电感线圈和所述阴极板的电流，以形成射频电压，并使所述电感线圈产生指定频率的射线；

在所述射频电压的作用下，所述电感线圈形成的射线透过所述石英罩进入所述工艺腔室，使所述工艺腔室内的工艺气体形成等离子体，所述等离子体在电压作用下向所述阴极板方向运动，并轰击在衬底上CIGS薄膜的凹凸不平处，使所述CIGS薄膜平整。

优选的，所述电感线圈为Cu线圈，所述电感线圈为螺旋状设置在所述工艺腔室的顶部。。

优选的，所述工艺气体为氩气。

优选的，所述适配模块包括：第一电容和第二电容，所述第一电容为可调谐电容，所述第二电容为固定电容，所述第一电容与所述电感线圈串联连接，所述第二电容与所述电感线圈并联连接。

优选的，所述衬底为玻璃基板。

优选的，还包括：加热装置；

所述加热装置设置在所述工艺腔室内，使所述工艺气体的温度保持在设定温度范围内。