[实用新型]一种质量流量控制器

权利要求书

1.一种质量流量控制器，其特征在于：包括进气管路、出气管路和控制组件，所述进气管路和/或所述出气管路为多条，所述进气管路一端为进气口，另一端与各所述出气管路连通，各所述进气管路上均设有电位监测元件，所述控制组件与所述电位监测元件连接，且所述控制组件控制所述进气管路和所述出气管路的气体流量。

2.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于：当所述出气管路为多条时，各所述出气管路上均设有第一控制阀，所述第一控制阀与所述控制组件连接。

3.根据权利要求2所述的质量流量控制器，其特征在于：当所述进气管路为多条时，各所述进气管路上均设有第二控制阀，所述第二控制阀与所述控制组件连接。

4.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于：所述电位监测元件包括气流旁路和热感应电位差元件，所述气流旁路的两端均与所述进气管路连通，所述热感应电位差元件设置于所述气流旁路上，且与所述控制组件连接。

5.根据权利要求4所述的质量流量控制器，其特征在于：所述热感应电位差元件包括电位仪、加热器和两个热电偶，所述加热器与所述热电偶均设置于所述气流旁路上，且所述加热器位于两个所述热电偶之间，所述电位仪分别于两个所述热电偶连接，以测量两个所述热电偶之间的电位差，且所述电位仪与所述控制组件连接，以将所述电位差输出至所述控制组件。

6.根据权利要求1所述的质量流量控制器，其特征在于：多条所述进气管路包括主管路和副管路，所述主管路与所述副管路在末端汇集，并与所述出气管路连接。

7.根据权利要求6所述的质量流量控制器，其特征在于：多条所述进气管路的末端汇集处的管路结构为文丘里管。

8.根据权利要求3所述的质量流量控制器，其特征在于：所述控制组件包括计算控制单元和数据交换模块，所述控制组件包括计算控制单元和数据交换模块，所述计算控制单元与所述数据交换模块连接，所述电位监测元件、所述第一控制阀和所述第二控制阀均与所述计算控制单元连接。

9.根据权利要求2所述的质量流量控制器，其特征在于：所述第一控制阀为压电陶瓷阀。

10.根据权利要求3所述的质量流量控制器，其特征在于：所述第二控制阀为压电陶瓷阀。