[实用新型]一种用于手机玻璃基板生产的表面镀膜装置有效
| 申请号： | 201721795082.9 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN207659518U | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 周金春;薛宇;李同玉 | 申请（专利权）人： | 芜湖立普德机械科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C03C17/00 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 杨红梅 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市芜湖经济技术开*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空室 旋转靶台 旋转杆 底端 镀膜 表面镀膜装置 导向套筒 基板生产 手机玻璃 旋转电机 工件架 套接孔 柱形孔 中空 底部中心位置 真空抽气系统 容纳 本实用新型 卡箍固定 送气系统 轴承安装 成品率 电磁控 多弧源 旋转靶 柱弧源 成膜 弧源 铆接 绕柱 竖向 形孔 穿过 室内 | ||
1.一种用于手机玻璃基板生产的表面镀膜装置，包括真空室(1)，其特征在于：所述真空室(1)的内表面上设有小多弧源(2)和电磁控大面积弧源(3)，且在真空室(1)的竖向中心上设有柱弧源(4)，所述真空室(1)的底端设有旋转靶台(5)，所述旋转靶台(5)的左右两端均设有工件架(6)，在真空室(1)的底端两侧还分别设有真空抽气系统(7)和送气系统(8)；
所述真空室(1)底部设有中空容纳间(9)，所述中空容纳间(9)内设有伺候旋转电机(10)，所述旋转靶台(5)底部中心位置处设有柱形孔(11)，绕所述柱形孔(11)外设有导向套筒(12)，所述伺候旋转电机(10)连接有旋转杆(13)，所述旋转杆(13)穿过所述真空室(1)底端，且旋转杆(13)铆接在所述柱形孔(11)内，所述导向套筒(12)与所述旋转杆(13)之间通过卡箍(14)固定，所述旋转靶台(5)上设有套接孔(15)，所述工件架(6)通过若干个第一轴承(16)固定安装在所述套接孔(15)内。
2.根据权利要求1所述的一种用于手机玻璃基板生产的表面镀膜装置，其特征在于：所述真空室(1)呈空腔的双层圆柱筒结构，所述真空室(1)由双层不锈钢制作而成，所述小多弧源(2)和电磁控大面积弧源(3)安装在所述真空室(1)内层外表面。
3.根据权利要求1所述的一种用于手机玻璃基板生产的表面镀膜装置，其特征在于：所述小多弧源(2)和电磁控大面积弧源(3)均滚阿玉真空室(1)的轴线对称分布，且在小多弧源(2)和电磁控大面积弧源(3)的外侧端部固定安装有弧源反射挡片(20)。
4.根据权利要求1所述的一种用于手机玻璃基板生产的表面镀膜装置，其特征在于：所述真空抽气系统(7)和送气系统(8)关于所述旋转靶台(5)呈对称分布在所述旋转靶台(5)的两侧。
5.根据权利要求1所述的一种用于手机玻璃基板生产的表面镀膜装置，其特征在于：所述导向套筒(12)与真空室(1)底端连接处设有第二轴承(17)，所述第二轴承(17)的外圈上设有若干间隔均匀分布的C字扣(18)，并且所述第二轴承(17)的外圈上还设有填充防滑橡胶(19)。
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