[实用新型]一种振膜及MEMS麦克风

权利要求书

1.一种振膜，其特征在于，包括：

薄膜本体(1)，其呈平面型，所述薄膜本体(1)的边缘处设置有第一弧形孔群和第二弧形孔群，所述第一弧形孔群和所述第二弧形孔之间形成环形带状区域，所述第一弧形孔群包括多个第一气孔(3)，每一所述第一气孔(3)内均设置有一第一弧形挡片(5)，所述第二弧形孔群包括多个第二气孔(4)，每一所述第二气孔(4)内均设置有一第二弧形挡片(6)，多个所述第一气孔(3)和多个所述第二气孔(4)均呈圆形阵列排布，且均以所述薄膜本体(1)的中心轴为阵列中心；

连接部(2)，所述连接部(2)由所述薄膜本体(1)的边缘处向外延伸，所述薄膜本体(1)能够以所述连接部(2)所在平面为平衡位置进行往复振动。

2.根据权利要求1所述的振膜，其特征在于，所述第一弧形挡片(5)一端与所述薄膜本体(1)固定连接，所述第一弧形挡片(5)的另一端向所述第一气孔(3)的内部延伸，所述第一弧形挡片(5)与所述第一气孔(3)之间形成第三气孔(7)，所述第三气孔(7)呈月牙状，且所述第三气孔(7)的弧形边朝所述薄膜本体(1)中心处的方向弯曲凸起。

3.根据权利要求2所述的振膜，其特征在于，所述第二弧形挡片(6)一端与所述薄膜本体(1)固定连接，所述第二弧形挡片(6)的另一端向所述第二气孔(4)的内部延伸，所述第二弧形挡片(6)与所述第二气孔(4)之间形成第四气孔(8)，第四气孔(8)呈月牙状，且所述第四气孔(8)的弧形边朝远离所述薄膜本体(1)中心处的方向弯曲凸起。

4.根据权利要求1-3任一项所述的振膜，其特征在于，所述第一气孔(3)与所述第二气孔(4)交错设置，所述第一气孔(3)距离所述薄膜本体(1)边缘处的最大距离小于所述第二气孔(4)距离所述薄膜本体(1)边缘处的最小距离。

5.根据权利要求4所述的振膜，其特征在于，所述第一气孔(3)与所述第二气孔(4)的数量相等。

6.根据权利要求1所述的振膜，其特征在于，所述第一气孔(3)为椭圆形孔。

7.根据权利要求6所述的振膜，其特征在于，多个所述第一气孔(3)的长轴均与同一个圆周相切。

8.根据权利要求6所述的振膜，其特征在于，所述第二气孔(4)为椭圆形孔。

9.根据权利要求8所述的振膜，其特征在于，多个所述第二气孔(4)的长轴均与另一圆周相切。

10.一种MEMS麦克风，其特征在于，包含权利要求1-9任一项所述的振膜。