[实用新型]一种基板传送装置及基板检测装置

权利要求书

1.一种基板传送装置，包括底座(1)；其特征在于：所述的底座(1)上设置有，

移载平台(2)，用以承载基板，其上设置多个开槽(21)，且可沿X方向移动；所述移载平台(2)具有平台支座，且通过平台支座连接所述底座(1)；

入料传送装置(4)，位于入料端，其上沿Y方向设置有多排第一入料机构(41)；以及

出料传送装置(5)，位于出料端，其上沿X方向设置有多排第一出料机构(51)；

其中，所述移载平台(2)位于入料端时，所述第一入料机构(41)进入所述开槽(21)，用以将基板传送至所述移载平台(2)上；所述移载平台(2)位于出料端时，第一出料机构(51)进入所述开槽(21)，用以将基板从所述移载平台(2)上移出；所述X方向与所述Y方向垂直。

2.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于：所述入料传送装置(4)包含入料支架(42)，所述入料支架(42)设置于底座(1)上，所述第一入料机构(41)设置于所述入料支架(42)上；所述入料支架(42)可沿Z方向移动，使得所述第一入料机构(41)可进入或退出所述开槽(21)；且

所述出料传送装置(5)包含出料支架(52)，所述出料支架(52)设置于底座(1)上，且可沿Z方向移动，使得所述第一出料机构(51)可进入或退出所述开槽(21)；所述的X方向、Y方向和Z方向两两垂直。

3.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于：所述移载平台(2)还包含平台支座，所述平台支座沿X方向滑动设置于所述底座(1)上，且可沿Z方向移动，使得所述第一入料机构(41)或者所述第一出料机构(51)可进入或退出所述开槽(21)。

4.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于：所述移载平台(2)还包含平台支座，所述底座(1)上设置有沿X方向延伸的平台导轨(11)，所述平台支座滑动设置于所述平台导轨(11)上。

5.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于：所述入料传送装置(4)还包含多排沿Y方向设置的辅助入料机构(43)，所述辅助入料机构(43)设置于所述第一入料机构(41)的上游端，且与所述第一入料机构(41)传送所述基板至所述移载平台(2)上。

6.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于：所述移载平台(2)还包含平台支座，所述多排第一入料机构(41)上对应所述平台支座设置入料让位部(44)，所述多排第一出料机构(51)上对应所述平台支座设置出料让位部(54)。

7.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于：所述入料传送装置(4)两侧还包含沿X方向设置的第二入料机构(45)，第二入料机构(45)上设置多个第二入料转向器(451)，每排第一入料机构(41)的两端分别设置第一入料转向器(411)，所述第一入料转向器(411)与所述第二入料转向器(451)啮合传动连接。

8.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于：所述出料传送装置(5)还包含沿X方向设置的多排第二出料机构(53)，所述多排第二出料机构(53)设置于所述多排第一出料机构(51)的下层；所述第一出料机构(51)上设置多个第一出料转向器(511)，所述第二出料机构(53)上设置多个第二出料转向器(531)，所述第一出料转向器(511)与所述第二出料转向器(531)啮合传动连接。

9.如权利要求8所述的基板传送装置，其特征在于：所述出料传送装置(5)还包含设置于出料端上下游且沿Y方向设置的两个第三出料机构(55)，所述第三出料机构(55)上设置多个第三出料转向器(551)，所述第三出料转向器(551)与所述第二出料机构(53)端部的所述第二出料转向器(531)啮合传动连接。

10.一种基板检测装置，其特征在于：包含如权利要求1-9任意一项所述的基板传送装置以及检测单元(3)，所述检测单元(3)设置于所述移载平台(2)的台面的至少一侧，所述移载平台(2)承载基板沿X方向移动时，所述检测单元(3)用以检测所述基板。