[实用新型]一种陶瓷电容式压力传感器的测试夹具

权利要求书

1.一种陶瓷电容式压力传感器的测试夹具，其特征在于，包括底座和压合板，所述底座和所述压合板固定连接，所述底座和所述压合板均采用合金钢材料制成，其中：

所述底座上设有多个传感器芯体座、气流槽和气源接头，多个所述传感器芯体座设置在所述底座的上表面以用于置放陶瓷电容式压力传感器芯片，所述气流槽设置在多个所述传感器芯体座的下端且分别与多个所述传感器芯体座连通，所述气源接头与所述气流槽连通；

所述压合板上设有多个卡块探针，多个所述卡块探针分别与多个所述传感器芯体座的位置相互对应以分别对置放于多个所述传感器芯体座上的多个所述陶瓷电容式压力传感器芯片进行测试。

2.根据权利要求1所述的测试夹具，其特征在于，所述底座上设有至少一个未贯通的第一定位螺丝孔，所述压合板上设有至少一个贯通的第二定位螺丝孔，所述底座和所述压合板通过至少一个定位螺丝分别依次穿过所述第二定位螺丝孔和所述第一定位螺丝孔以实现固定连接。

3.根据权利要求2所述的测试夹具，其特征在于，所述底座上设有多个未贯通的第一压纹旋钮孔，所述压合板上设有多个贯通的第二压纹旋钮孔，所述底座和所述压合板还通过多个压纹旋钮分别依次穿过所述第二压纹旋钮孔和所述第一压纹旋钮孔以实现固定连接。

4.根据权利要求3所述的测试夹具，其特征在于，多个所述第一压纹旋钮孔分别设置在多个所述传感器芯体座的外侧。

5.根据权利要求3所述的测试夹具，其特征在于，所述第一定位螺丝孔、所述第二定位螺丝孔和所述定位螺丝的数量为2个，所述第一压纹旋钮孔、所述第二压纹旋钮孔和所述压纹旋钮的数量为6个。

6.根据权利要求1所述的测试夹具，其特征在于，所述传感器芯体座是设置在所述底座上表面的与所述陶瓷电容式压力传感器芯片的形状相对应的凹槽，在所述压合板的下表面设有与多个所述凹槽相对应的多个凸台。

7.根据权利要求6所述的测试夹具，其特征在于，在所述凹槽内设有橡胶垫圈。

8.根据权利要求1所述的测试夹具，其特征在于，所述卡块探针包括卡块和探针，其中所述卡块采用玻璃纤维材料制成，所述探针采用铜质镀金导体材料制成。

9.根据权利要求1所述的测试夹具，其特征在于，在所述压合板的上表面设有至少一个把手。

10.根据权利要求1所述的测试夹具，其特征在于，多个所述传感器芯体座沿着所述底座的长度方向共排列两列。