[实用新型]一种陶瓷电容式压力传感器的测试夹具

说明书

本实用新型公开了一种陶瓷电容式压力传感器的测试夹具，包括底座和压合板，底座和压合板固定连接，底座和压合板均采用合金钢材料制成，其中：底座上设有多个传感器芯体座、气流槽和气源接头，多个传感器芯体座设置在底座的上表面以用于置放陶瓷电容式压力传感器芯片，气流槽设置在多个传感器芯体座的下端且分别与多个传感器芯体座连通，气源接头与气流槽连通；压合板上设有多个卡块探针，多个卡块探针分别与多个传感器芯体座的位置相互对应以分别对置放于多个传感器芯体座上的多个陶瓷电容式压力传感器芯片进行测试。本实用新型能够适应电容式压力传感器芯体在‑55～150℃、‑0.1～10.0MPa的范围内进行标定及测试，并保证标定及测试过程中的一致性和准确性。

技术领域

本实用新型涉及一种夹具，尤其涉及陶瓷电容式压力传感器的测试夹具。

背景技术

陶瓷电容式压力传感器，具有抗腐蚀、抗磨损、抗冲击、热稳定特性好、测量精度高、量程范围大、无污染等众多优点，被广泛应用于气动监测、轻载液压、制动压力、机油压力、传动装置、以及卡车/拖车的气闸、高性能的工业控制用压力变送器等关键系统的压力、液力、流量及液位来维持设备的性能。

陶瓷电容式压力传感器是一种非充液干式的电容式压力传感器，该压力传感器是由较厚的陶瓷基体和较薄的陶瓷膜片构成，中间形成一介质腔，在基座和膜片之上印刷有对应的电极板，组成一个电容，当膜片承受压力时发生位移，使电容量产生变化，经后置处理电路直接转换为可输出的直流电压信号。

压力传感器要达到精度要求，就需要高精度的标定装置及测试夹具，由于陶瓷电容式压力传感器芯体需要适应宽温度和压力范围，所以标定和测试过程中始终保持一致性和准确性具有相当的难度。为了适应标定和测试工作中此方面的要求，需要设计一种能够应用于电容式压力传感器芯体，同时能够保证宽温度和压力范围工作稳定可靠的标定及测试夹具。

以上背景技术内容的公开仅用于辅助理解本实用新型的构思及技术方案，其并不必然属于本专利申请的现有技术，在没有明确的证据表明上述内容在本专利申请的申请日已经公开的情况下，上述背景技术不应当用于评价本申请的新颖性和创造性。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提出一种陶瓷电容式压力传感器的测试夹具，能够适应电容式压力传感器芯体在-55～150℃、-0.1～10.0MPa的范围内进行标定及测试，并保证标定及测试过程中的一致性和准确性。

为了达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型公开了一种陶瓷电容式压力传感器的测试夹具，包括底座和压合板，所述底座和所述压合板固定连接，所述底座和所述压合板均采用合金钢材料制成，其中：所述底座上设有多个传感器芯体座、气流槽和气源接头，多个所述传感器芯体座设置在所述底座的上表面以用于置放陶瓷电容式压力传感器芯片，所述气流槽设置在多个所述传感器芯体座的下端且分别与多个所述传感器芯体座连通，所述气源接头与所述气流槽连通；所述压合板上设有多个卡块探针，多个所述卡块探针分别与多个所述传感器芯体座的位置相互对应以分别对置放于多个所述传感器芯体座上的多个所述陶瓷电容式压力传感器芯片进行测试。

优选地，所述底座上设有至少一个未贯通的第一定位螺丝孔，所述压合板上设有至少一个贯通的第二定位螺丝孔，所述底座和所述压合板通过至少一个定位螺丝分别依次穿过所述第二定位螺丝孔和所述第一定位螺丝孔以实现固定连接。

优选地，所述底座上设有多个未贯通的第一压纹旋钮孔，所述压合板上设有多个贯通的第二压纹旋钮孔，所述底座和所述压合板还通过多个压纹旋钮分别依次穿过所述第二压纹旋钮孔和所述第一压纹旋钮孔以实现固定连接。

优选地，多个所述第一压纹旋钮孔分别设置在多个所述传感器芯体座的外侧。

优选地，所述第一定位螺丝孔、所述第二定位螺丝孔和所述定位螺丝的数量为2个，所述第一压纹旋钮孔、所述第二压纹旋钮孔和所述压纹旋钮的数量为6个。