[实用新型]一种基板脱膜监控装置有效
申请号: | 201721819190.5 | 申请日: | 2017-12-20 |
公开(公告)号: | CN207719156U | 公开(公告)日: | 2018-08-10 |
发明(设计)人: | 刘刚;张毅先;任思雨;苏君海;李建华 | 申请(专利权)人: | 信利(惠州)智能显示有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 彭俊垣 |
地址: | 516029 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 本实用新型 监控装置 脱膜机 传送装置 摄像设备 脱膜效果 基板 脱膜 薄膜晶体管制造 设备技术领域 方案解决 基板传送 监控基板 监控软件 监控效果 信号连接 滞后性 悬置 穿过 拍摄 | ||
1.一种基板脱膜监控装置,其特征在于:包括脱膜机和将基板传送穿过脱膜机的传送装置;在所述脱膜机的出口处固定悬置有拍摄方向正对于所述传送装置的摄像设备;所述摄像设备与预装有监控软件的PC端信号连接。
2.根据权利要求1所述的一种基板脱膜监控装置,其特征在于:所述摄像设备包括多个沿所述传送装置的宽度方向并排设置的相机;所述相机的拍摄范围覆盖所述传送装置上沿其宽度方向的范围。
3.根据权利要求2所述的一种基板脱膜监控装置,其特征在于:每个所述相机均对应所述传送装置上的一块基板。
4.根据权利要求3所述的一种基板脱膜监控装置,其特征在于:所述相机的拍摄间隔时间等于沿所述传送装置的传送方向上两个相邻的基板之间的距离与所述传送装置的传送速度之间的商。
5.根据权利要求4所述的一种基板脱膜监控装置,其特征在于:还包括用于感应所述传送装置的基板的感应器。
6.根据权利要求5所述的一种基板脱膜监控装置,其特征在于:所述PC端与所述传送装置的驱动部件电性连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造