[实用新型]硅烷排废气处理系统

权利要求书

1.一种硅烷排废气处理系统，包括用于去除粉尘颗粒的燃烧器、用于去除含碱气体的氨气的燃烧塔，所述的燃烧器的出气口与所述的燃烧塔的进气口相连接，其特征在于：所述的燃烧器为硅烷燃烧器，所述的硅烷燃烧器，包括外桶体，所述的外桶体的侧壁上开设有进气口，所述的外桶体的底部具有排灰口，所述的外桶体内设置有内桶体，所述的内桶体的下端口与所述的外桶体相连通，所述的内桶体的上端口形成出气口，所述的内桶体的侧壁与所述的外桶体的侧壁之间形成旋风通道，所述的进气口开设在所述的外桶体形成所述的旋风通道的侧壁上；所述的硅烷燃烧器还包括进气管，所述的进气管具有入口和出口，所述的进气管的入口的开口大小大于所述的进气管的出口的开口大小，所述的进气管的出口与所述的外桶体的进气口相连通。

2.根据权利要求1所述的硅烷排废气处理系统，其特征在于：所述的外桶体的轴心线与所述的内桶体的轴心线相重合。

3.根据权利要求1所述的硅烷排废气处理系统，其特征在于：所述的外桶体的侧壁上设置有泄爆装置。

4.根据权利要求1所述的硅烷排废气处理系统，其特征在于：所述的内桶体的下端口靠近所述的外桶体的下部，所述的内桶体的上部伸出所述的外桶体。

5.根据权利要求1或4所述的硅烷排废气处理系统，其特征在于：所述的内桶体上部的侧壁上开设有用于连接氮气的氮气连接口。

6.根据权利要求1所述的硅烷排废气处理系统，其特征在于：所述的进气管靠近入口的管壁上开设有用于连接压缩空气的压缩空气口。

7.根据权利要求1所述的硅烷排废气处理系统，其特征在于：所述的硅烷燃烧器的材质为不锈钢。

8.根据权利要求1所述的硅烷排废气处理系统，其特征在于：所述的硅烷燃烧器还包括与所述的排灰口相连接的卸灰装置，所述的卸灰装置具有入口和出口，所述的卸灰装置入口的开口大小小于所述的卸灰装置的出口的开口大小，所述的卸灰装置的入口与所述的外桶体的排灰口相连通。

9.根据权利要求8所述的硅烷排废气处理系统，其特征在于：所述的硅烷燃烧器还包括收灰桶，所述的收灰桶的开口正对所述的卸灰装置的出口；所述的卸灰装置上还设置有用于与所述的收灰桶进行连接的连接装置。