[实用新型]硅烷排废气处理系统

说明书

本实用新型涉及一种硅烷燃烧器，包括外桶体，所述的外桶体的侧壁上开设有进气口，所述的外桶体的底部具有排灰口，所述的外桶体内设置有内桶体，所述的内桶体的下端口与所述的外桶体相连通，所述的内桶体的上端口形成出气口，所述的内桶体的侧壁与所述的外桶体的侧壁之间形成旋风通道，所述的进气口开设在所述的外桶体形成所述的旋风通道的侧壁上；所述的硅烷燃烧器还包括进气管，所述的进气管具有入口和出口，所述的进气管的入口的开口大小大于所述的进气管的出口的开口大小，所述的进气管的出口与所述的外桶体的进气口相连通。本实用新型能够实现气体的充分燃烧，避免后续管道堵塞的问题，同时除尘效果突出，设备安全性及稳定性大大提高。

技术领域

本实用新型涉及一种环保设备领域，特别是涉及一种硅烷燃烧器及硅烷排废气处理系统。

背景技术

目前，现有市场上硅烷燃烧装置结构比较简单，其采用一个圆形容器，气体通入后进行完全燃烧并排放，结构比较单一，但燃烧效果不充分，容易导致燃烧设备末端管道及水洗设备的堵塞，存在一定的安全隐患。

发明内容

本实用新型的一个目的是提供一种硅烷燃烧器。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种硅烷燃烧器，包括外桶体，所述的外桶体的侧壁上开设有进气口，所述的外桶体的底部具有排灰口，所述的外桶体内设置有内桶体，所述的内桶体的下端口与所述的外桶体相连通，所述的内桶体的上端口形成出气口，所述的内桶体的侧壁与所述的外桶体的侧壁之间形成旋风通道，所述的进气口开设在所述的外桶体形成所述的旋风通道的侧壁上；所述的硅烷燃烧器还包括进气管，所述的进气管具有入口和出口，所述的进气管的入口的开口大小大于所述的进气管的出口的开口大小，所述的进气管的出口与所述的外桶体的进气口相连通。

优选地，所述的外桶体的轴心线与所述的内桶体的轴心线相重合。

优选地，所述的外桶体的侧壁上设置有泄爆装置。

优选地，所述的内桶体的下端口靠近所述的外桶体的下部，所述的内桶体的上部伸出所述的外桶体。

优选地，所述的内桶体上部的侧壁上开设有用于连接氮气的氮气连接口。

优选地，所述的进气管靠近入口的管壁上开设有用于连接压缩空气的压缩空气口。

优选地，所述的硅烷燃烧器的材质为不锈钢。

优选地，所述的硅烷燃烧器还包括与所述的排灰口相连接的卸灰装置，所述的卸灰装置具有入口和出口，所述的卸灰装置入口的开口大小小于所述的卸灰装置的出口的开口大小，所述的卸灰装置的入口与所述的外桶体的排灰口相连通。

进一步优选地，所述的硅烷燃烧器还包括收灰桶，所述的收灰桶的开口正对所述的卸灰装置的出口；所述的卸灰装置上还设置有用于与所述的收灰桶进行连接的连接装置。

本实用新型的另一个目的是提供一种硅烷排废气处理系统，可用于工艺尾气燃烧处理，如用于光伏PECVD工艺设备产生的尾气处理。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种硅烷排废气处理系统，包括用于去除粉尘颗粒的燃烧器、用于去除含碱气体的氨气的燃烧塔，所述的燃烧器的出气口与所述的燃烧塔的进气口相连接，所述的燃烧器为所述的硅烷燃烧器。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型能够实现气体的充分燃烧，避免后续管道堵塞的问题，同时除尘效果突出，设备安全性及稳定性大大提高。

附图说明

附图1为本实施例中硅烷燃烧器的主视示意图；

附图2为本实施例中硅烷燃烧器的俯视示意图；