[实用新型]镀膜设备温度控制装置

权利要求书

1.一种镀膜设备温度控制装置，设置在多腔室设备中，多腔室设备包括进片腔、加热腔(3)、工艺腔、冷却腔和出片腔，其特征在于：所述的温度控制装置包括温度检测基板(6)，温度检测基板(6)由进片腔进入多腔室设备，经过加热腔(3)、工艺腔、冷却腔和出片腔后运行出多腔室设备，温度检测基板(6)上设有温度检测模块(4)、数据寄存器和无线传输模块(8)，数据寄存器连接温度检测模块(4)和无线传输模块(8)，无线传输模块(8)与外部终端(7)实现数据通讯。

2.根据权利要求1所述的镀膜设备温度控制装置，其特征在于：所述的加热腔(3)内设有加热器包括中心加热器和边缘加热器，其中边缘加热器设置在中心加热器的四周，中心加热器包括加热器安装板(1)、加热丝(5)和密封垫(2)，密封垫(2)位于加热器安装板(1)和加热腔(3)之间，温度检测模块(4)与加热丝(5)接触进行温度测量。

3.根据权利要求1或2所述的镀膜设备温度控制装置，其特征在于：所述的温度检测模块(4)包括测温热电偶。

4.根据权利要求3所述的镀膜设备温度控制装置，其特征在于：所述的测温热电偶包括多个，每个测温热电偶均连接数据寄存器。

5.根据权利要求1所述的镀膜设备温度控制装置，其特征在于：所述的外部终端(7)的外部还连接有报警器。

6.根据权利要求1或5所述的镀膜设备温度控制装置，其特征在于：所述的无线传输模块(8)包括无线发射模块和无线接收模块，其中无线发射模块位于温度检测基板(6)上，无线接收模块位于温度检测基板(6)的外部且连接外部终端(7)，无线传输模块(8)为WFI模块/3G模块/4G模块中的一种或多种，外部终端(7)包括数据处理计算机。