[实用新型]镀膜设备温度控制装置

说明书

本实用新型公开一种镀膜设备温度控制装置，属于温度检测技术领域，设置在多腔室设备中，多腔室设备包括多腔室设备包括进片腔、加热腔、工艺腔、冷却腔和出片腔，温度控制装置包括温度检测基板，温度检测基板由进片腔进入多腔室设备，经过加热腔、工艺腔、冷却腔和出片腔后运行出多腔室设备，温度检测基板上设有温度检测模块、数据寄存器和无线传输模块，数据寄存器连接温度检测模块和无线传输模块，无线传输模块与外部终端实现数据通讯，本装置能够实现多腔室设备内温度的检测设传输，解决了现有技术中出现的问题。

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜设备温度控制装置，属于温度检测技术领域。

背景技术

在薄膜太阳能电池制备过程中，温度为重要的参数之一，企业现有物理气相沉积(铂阳PVD设备)、铜铟镓硒蒸镀(SOLIBRO CIGS设备)都为板式、多腔室工艺设备，在不同腔室、同腔室不同区域都有不同的工艺温度要求；且多腔室设备中具有从各个腔室中传输的设备但是不具备温度检测功能，现有技术中加热器供电加热后，加热器的温度由温度检测模块直接在腔室内测量后传入到控制器进行腔室温度的控制，温度检测模块缠绕在加热器进行温度测量，存在弊端，使温度测量不准确，热电偶的读数接近基板实际温度的读数，加热丝因故障更换后这种情况更容易出现这种情况。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种镀膜设备温度控制装置，能够实现多腔室设备内温度的检测设传输，解决了现有技术中出现的问题。

本实用新型所述的镀膜设备温度控制装置，设置在多腔室设备中，多腔室设备包括进片腔、加热腔、工艺腔、冷却腔和出片腔，温度控制装置包括温度检测基板，温度检测基板由进片腔进入多腔室设备，经过加热腔、工艺腔、冷却腔和出片腔后运行出多腔室设备，温度检测基板上设有温度检测模块、数据寄存器和无线传输模块，数据寄存器连接温度检测模块和无线传输模块，无线传输模块与外部终端实现数据通讯。

开始进行温度测量时，温度检测基板由进片腔进入多腔室设备运行至出片腔，运行出设备，整个过程采集温度检测模块，通过无线传输模块传送到外部终端中，接收的实时数据与工艺参数中需求温度进行对比，如果数据满足工艺参数的需求，此时将各个加热器的设定温度作为实际工艺参考温度，如果数据不满足需求，则调整对应加热区域加热器的设定温度并以设定的温度为实际工艺参考温度。

所述的加热腔内设有加热器包括中心加热器和边缘加热器，其中边缘加热器设置在中心加热器的四周，中心加热器包括加热器安装板、加热丝和密封垫，密封垫位于加热器安装板和加热腔之间，温度检测模块与加热丝接触进行温度测量；由于腔室与外界环境接触散热，边缘加热器除了主动加热功能外还需要起到保温的作用。

所述的温度检测模块包括测温热电偶。

所述的测温热电偶包括多个，每个测温热电偶均连接数据寄存器，通过采集多个测温热电偶的数值，使得测量的数据更加准确。

所述的外部终端的外部还连接有报警器。

所述的无线传输模块包括无线发射模块和无线接收模块，其中无线发射模块位于温度检测基板上，无线接收模块位于温度检测基板的外部且连接外部终端，无线传输模块为WFI模块/3G模块/4G模块中的一种或多种，外部终端包括数据处理计算机。

本实用新型与现有技术相比，具有如下有益效果：

能够实现多腔室设备内温度的检测设传输，使工作人员能够准确控制各个腔室的温度，使得温度测量更精确，系统运行更加可靠，解决了现有技术中出现的问题。

附图说明

图1为本实用新型实施例中温度检测基板行进方向的示意图；

图2为本实用新型实施例中加热腔内加热器的分布结构图；

图3为本实用新型实施例中加热器的结构示意图；