[实用新型]一种半导体自动封装系统去流道的电机驱动机构有效
申请号: | 201721836936.3 | 申请日: | 2017-12-25 |
公开(公告)号: | CN207966932U | 公开(公告)日: | 2018-10-12 |
发明(设计)人: | 陈昌太;刘宝;代迎桃;胡鹏 | 申请(专利权)人: | 安徽大华半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 230000 安徽省合肥市高新*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 流道 电机驱动机构 自动封装系统 导向轴 固定板 半导体 本实用新型 模具固定板 直线轴承 支撑柱 基板 模具 伺服电机驱动 电机安装板 螺母固定板 工艺过程 连接丝杆 上下运动 丝杆螺母 伺服电机 同步带轮 同步带 上端 冲切 丝杆 下端 | ||
1.一种半导体自动封装系统去流道的电机驱动机构,自下而上依次设有去流道模具固定板(5)、基板(1)、固定板(2)和丝杆螺母固定板(4);
其中,所述基板(1)和固定板(2)之间设有支撑柱(8)连接、支撑柱(8)中设有直线轴承(9),所述直线轴承(9)内设有导向轴(3);
所述导向轴(3)可以在直线轴承(9)中上下滑动;
所述导向轴(3)上端连接丝杆螺母固定板(4);
所述导向轴(3)下端连接去流道模具固定板(5);
所述固定板(2)上固定连接一个丝杆(6),所述丝杆(6)的外侧设有外螺纹,所述外螺纹与丝杆螺母(7)的内螺纹对应,所述丝杆螺母(7)与丝杆螺母固定板(4)固定连接,丝杆(6)下端固定连接一个同步带轮(11),当同步带轮(11)转动,所述丝杆(6)沿自身轴心转动;
所述同步带轮(11)通过同步带(13)和从属同步带轮(12)相连,所述同步带轮(12)安装在伺服电机(14)的转动轴上,所述伺服电机(14)安装在电机安装板(15)上,所述电机安装板(15)通过连接块(16)固定在所述固定板(2)上。
2.根据权利要求1所述的一种半导体自动封装系统去流道的电机驱动机构,其特征在于:基板(1)和固定板(2)之间有两个或两个以上支撑柱(8)连接,每个支撑柱(8)中均设有直线轴承(9),每个直线轴承(9)内均设有导向轴(3)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体自动封装系统去流道的电机驱动机构,其特征在于:所述两个或两个以上的支撑柱(8)尺寸相同。
4.根据权利要求1所述的一种半导体自动封装系统去流道的电机驱动机构,其特征在于:所述去流道模具固定板(5)两侧安装导向板(10)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造