[实用新型]一种对称式双高真空泵抽气系统以及镀膜系统有效
| 申请号： | 201721837439.5 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN207632888U | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 刘智山;王安平 | 申请（专利权）人： | 苏州浩联光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 赵琳琳 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高真空泵 高真空阀 室内 本实用新型 抽气系统 镀膜系统 对称式 真空室 泵室 左右对称结构 镀膜技术 镀膜膜层 对称设置 工艺气体 产出率 均匀性 速率和 成膜 抽气 双阀 两边 | ||
1.一种对称式双高真空泵抽气系统，其特征在于，包括：真空室、第一高真空泵、第二高真空泵、第一高真空阀和第二高真空阀；
所述真空室的两侧对称设置有第一泵室和第二泵室；
所述第一高真空泵设置于所述第一泵室内；
所述第二高真空泵设置于所述第二泵室内；
所述第一高真空阀设置于所述真空室内靠近第一高真空泵的通道处；
所述第二高真空阀设置于所述真空室内靠近第二高真空泵的通道处。
2.根据权利要求1所述的对称式双高真空泵抽气系统，其特征在于，还包括：控制器、第一蝶阀和第二蝶阀；
所述第一蝶阀设置于所述第一泵室且位于第一高真空泵的上方；
所述第二蝶阀设置于所述第二泵室且位于第二高真空泵的上方；
所述控制器分别与所述第一蝶阀和第二蝶阀信号连接，用于控制每个蝶阀的张口开度。
3.根据权利要求1所述的对称式双高真空泵抽气系统，其特征在于，
所述第一泵室连接有第一分流通道；
所述第二泵室连接有第二分流通道；
所述第一分流通道与第二分流通道均在所述真空室的上方汇集于一主流通道。
4.根据权利要求3所述的对称式双高真空泵抽气系统，其特征在于，所述第一分流通道上设置有一前级阀。
5.根据权利要求3所述的对称式双高真空泵抽气系统，其特征在于，所述第二分流通道上设置有一前级阀。
6.根据权利要求3所述的对称式双高真空泵抽气系统，其特征在于，所述第二分流通道与所述真空室连接有一支路通道，所述支路通道上设置有一前级阀。
7.根据权利要求3所述的对称式双高真空泵抽气系统，其特征在于，所述主流通道上设置有罗茨泵和机械泵，所述机械泵与气体排出口连接，所述气体排出口设置有一过滤网。
8.根据权利要求1所述的对称式双高真空泵抽气系统，其特征在于，所述真空室的下方设置有工艺气体进口。
9.根据权利要求1所述的对称式双高真空泵抽气系统，其特征在于，所述真空室的靠近第一高真空阀的位置设置有放气阀和过滤网。
10.一种镀膜系统，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的对称式双高真空泵抽气系统。
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