[实用新型]一种对称式双高真空泵抽气系统以及镀膜系统

说明书

本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其是涉及一种对称式双高真空泵抽气系统以及镀膜系统，包括：真空室、第一高真空泵、第二高真空泵、第一高真空阀和第二高真空阀；所述真空室的两侧对称设置有第一泵室和第二泵室；所述第一高真空泵设置于所述第一泵室内；所述第二高真空泵设置于所述第二泵室内；所述第一高真空阀设置于所述真空室内靠近第一高真空泵的通道处；所述第二高真空阀设置于所述真空室内靠近第二高真空泵的通道处。本实用新型因为采用了双高真空泵和双阀设计，整体抽气速度提高了一倍。同时采用的是左右对称结构设计使加入到真空室内的工艺气体从左右两边均匀抽走，能改善镀膜膜层的成膜速率和均匀性，提高了成品产出率。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其是涉及一种对称式双高真空泵抽气系统以及镀膜系统。

背景技术

随着光通讯行业的快速发展，光学镀膜产品应用越来越广泛，对光学镀膜产品的需求也逐年增加。光学镀膜机抽气系统目前普遍使用的前后结构设计。真空腔体通过高真空阀与高真空泵相连，真空室内的气体通过抽气阀后进入真空泵被抽走排出，使真空室达到高真空状态，符合镀膜工艺要求的高真空环境。由于镀膜真空室尺寸较大、密封面较多、抽气系统路径长等居多因素，前后或上下结构抽气系统的镀膜机抽气时间长，工艺局限性大，很大程度上限制了镀膜的产出和应用。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本申请的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种对称式双高真空泵抽气系统以及镀膜系统，以解决现有技术中存在的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

第一方面，本实用新型提供一种对称式双高真空泵抽气系统，其包括：真空室、第一高真空泵、第二高真空泵、第一高真空阀和第二高真空阀；

所述真空室的两侧对称设置有第一泵室和第二泵室；

所述第一高真空泵设置于所述第一泵室内；

所述第二高真空泵设置于所述第二泵室内；

所述第一高真空阀设置于所述真空室内靠近第一高真空泵的通道处；

所述第二高真空阀设置于所述真空室内靠近第二高真空泵的通道处。

作为一种进一步的技术方案，该对称式双高真空泵抽气系统还包括：控制器、第一蝶阀和第二蝶阀；

所述第一蝶阀设置于所述第一泵室且位于第一高真空泵的上方；

所述第二蝶阀设置于所述第二泵室且位于第二高真空泵的上方；

所述控制器分别与所述第一蝶阀和第二蝶阀信号连接，用于控制每个蝶阀的张口开度。

作为一种进一步的技术方案，所述第一泵室连接有第一分流通道；所述第二泵室连接有第二分流通道；

所述第一分流通道与第二分流通道均在所述真空室的上方汇集于一主流通道。

作为一种进一步的技术方案，所述第一分流通道上设置有一前级阀。

作为一种进一步的技术方案，所述第二分流通道上设置有一前级阀。

作为一种进一步的技术方案，所述第二分流通道与所述真空室连接有一支路通道，所述支路通道上设置有一前级阀。

作为一种进一步的技术方案，所述主流通道上设置有罗茨泵和机械泵，所述机械泵与气体排出口连接，所述气体排出口设置有一过滤网。

作为一种进一步的技术方案，所述真空室的下方设置有工艺气体进口。