[实用新型]用于制造太阳能电池的设备、和用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置有效
申请号: | 201721864047.8 | 申请日: | 2017-12-27 |
公开(公告)号: | CN208336250U | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 达维德·科莱 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B41F15/08 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 意大利圣比亚*** | 国省代码: | 意大利;IT |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基板 沉积 太阳能电池 线性运输 处理站 丝网印刷 运输器件 运输 制造 内容提供 平行 邻近 移动 | ||
1.一种用于制造太阳能电池的设备,其特征在于,所述设备包括:
处理站;
运输布置,所述运输布置包括:
第一线性运输器件,经构造以用于在第一方向上运输基板;和
运输器件,邻近所述第一线性运输器件并且经构造以用于将所述基板运输至所述处理站;和
沉积布置,所述沉积布置位于所述处理站处,并且经构造以在平行于所述第一方向的方向上移动,用于处理要沉积在所述基板上的材料。
2.如权利要求1所述的设备,其中所述运输器件包括至少一个转台。
3.如权利要求2所述的设备,其中所述沉积布置被提供在所述至少一个转台处。
4.如权利要求2所述的设备,其中所述至少一个转台的旋转轴线布置在垂直于所述第一方向的直线上。
5.如权利要求1所述的设备,其中所述运输布置包括第二线性运输器件,并且其中所述运输器件布置在所述第一线性运输器件与所述第二线性运输器件之间。
6.如权利要求1所述的设备,其中所述第一线性运输器件包括第一线性运输通道和邻近所述第一线性运输通道的第二线性运输通道,其中所述沉积布置包括第一沉积器件和第二沉积器件,所述第一沉积器件用于在由所述第一线性运输通道提供的基板上沉积材料,第二沉积器件用于在由所述第二线性运输通道提供的基板上沉积材料的,并且其中所述第一沉积器件和所述第二沉积器件布置在所述第一线性运输通道和所述第二线性运输通道之间。
7.如权利要求6所述的设备,其中所述运输器件包括第一转台和第二转台,所述第一转台经构造以从所述第一线性运输通道接收基板,所述第二转台经构造以从所述第二线性运输通道接收基板。
8.如权利要求7所述的设备,其中所述第一转台和所述第二转台直接邻近彼此布置。
9.如权利要求7所述的设备,其中所述第一转台的旋转轴线和所述第二转台的旋转轴线布置在垂直于所述第一方向的直线上。
10.如权利要求1所述的设备,其中所述第一线性运输器件包括第一线性运输通道和邻近所述第一线性运输通道的第二线性运输通道,其中所述沉积布置包括第一沉积器件和第二沉积器件,所述第一沉积器件用于在由所述第一线性运输通道提供的基板上沉积材料,所述第二沉积器件用于在由所述第二线性运输通道提供的基板上沉积材料,并且其中所述第一线性运输通道和所述第二线性运输布置在所述第一沉积器件和所述第二沉积器件之间。
11.如权利要求10所述的设备,其中所述运输器件包括第一转台和第二转台,所述第一转台经构造以从所述第一线性运输通道接收基板,所述第二转台经构造以从所述第二线性运输通道接收基板,并且其中所述第一转台和所述第二转台在所述第一方向上相对于彼此而偏移。
12.如权利要求10所述的设备,其中所述第一沉积器件和所述第二沉积器件相对于所述第一方向对称。
13.如权利要求1所述的设备,其中所述第一方向是水平方向。
14.如权利要求1所述的设备,其中所述沉积布置包括至少一个丝网印刷头。
15.如权利要求14所述的设备,其中所述至少一个丝网印刷头包括一个或多个材料处理器件和一个或多个沉积器件,所述一个或多个材料处理器件用于对丝网上的材料进行材料处理,所述一个或多个沉积器件用于将材料从所述丝网传送至所述基板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的