[实用新型]用于制造太阳能电池的设备、和用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置有效
申请号: | 201721864047.8 | 申请日: | 2017-12-27 |
公开(公告)号: | CN208336250U | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 达维德·科莱 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B41F15/08 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 意大利圣比亚*** | 国省代码: | 意大利;IT |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基板 沉积 太阳能电池 线性运输 处理站 丝网印刷 运输器件 运输 制造 内容提供 平行 邻近 移动 | ||
本公开内容提供了一种用于制造太阳能电池的设备和用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置。设备(100)包括处理站(110)、运输布置(120)和位于处理站(110)处的沉积布置(112)。运输布置(120)包括:第一线性运输器件(122),所述第一线性运输器件经构造以用于在第一方向(1)上运输基板(10);以及运输器件(124),所述运输器件邻近第一线性运输器件(122)并且经构造以用于将基板(10)运输至处理站(110)。沉积布置(112)经构造以平行于第一方向(1)而移动,用于处理要沉积在基板(10)上的材料。
技术领域
本公开内容的实施例涉及一种用于制造太阳能电池的设备、和用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置。本公开内容的实施例具体涉及了在转台处的丝网印刷头。
背景技术
太阳能电池是将阳光直接转换为电力的光伏器件。在这个领域内,已知使用沉积工具(特别是印刷工具)在结晶硅基上生产太阳能电池,从而在太阳能电池的前表面上实现选择性发射级结构。处理周期可以包括至少一个印刷操作和另一可选材料处理操作,在所述印刷操作期间通过沉积器件在基板上沉积材料。设备的生产率和/或产量可由处理周期的周期时间限制。此外,印刷单元应当易于监视和/或应当是容易接取的(accessible),例如,用于进行维护和进行印刷工艺控制。
鉴于以上,克服本领域的至少一些问题的用于制造太阳能电池的新的设备和用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置是有益的。本公开内容旨在提供一种易于监视并容易接取的设备和沉积布置。
实用新型内容
鉴于以上,提供了一种用于制造太阳能电池的设备、和用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置。本公开内容的另外方面、优点和特征从权利要求书、说明书和随附附图中显而易见。
根据本公开内容的一个方面,提供了一种用于制造太阳能电池的设备。所述设备包括处理站、运输布置(arrangement)和位于所述处理站处的沉积布置。运输布置包括:第一线性运输器件,所述第一线性运输器件经构造以用于在第一方向上运输基板;和运输器件,所述运输器件邻近所述第一线性运输器件并且经构造以将所述基板运输至处理站。沉积布置经构造以在第一方向上移动,用于处理要沉积在基板上的材料。
在一些实施例中,所述运输器件包括至少一个转台。
在一些实施例中,所述沉积布置被提供在所述至少一个转台处。
在一些实施例中,所述至少一个转台的旋转轴线布置在垂直于所述第一方向的直线上。
在一些实施例中,所述运输布置包括第二线性运输器件,并且其中所述运输器件布置在所述第一线性运输器件与所述第二线性运输器件之间。
在一些实施例中,所述第一线性运输器件包括第一线性运输通道和邻近所述第一线性运输通道的第二线性运输通道,其中所述沉积布置包括第一沉积器件和第二沉积器件,所述第一沉积器件用于在由所述第一线性运输通道提供的基板上沉积材料,第二沉积器件用于在由所述第二线性运输通道提供的基板上沉积材料的,并且其中所述第一沉积器件和所述第二沉积器件布置在所述第一线性运输通道和所述第二线性运输通道之间。
在一些实施例中,所述运输器件包括第一转台和第二转台,所述第一转台经构造以从所述第一线性运输通道接收基板,所述第二转台经构造以从所述第二线性运输通道接收基板。
在一些实施例中,所述第一转台和所述第二转台直接邻近彼此布置。
在一些实施例中,所述第一转台的旋转轴线和所述第二转台的旋转轴线布置在垂直于所述第一方向的直线上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的