[实用新型]一种涂胶显影腔体温湿度控制系统有效
申请号: | 201721872684.X | 申请日: | 2017-12-27 |
公开(公告)号: | CN207780480U | 公开(公告)日: | 2018-08-28 |
发明(设计)人: | 刘庆超;黄志凯 | 申请(专利权)人: | 德淮半导体有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 223300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 涂胶 湿度控制系统 冷却装置 翅片式 毛细管 显影腔 体温 过滤器 加热器 本实用新型 设备故障率 节约资源 设备故障 生产效率 时间减少 显影腔体 运营成本 加湿器 风机 风管 水冷 停机 检修 生产 | ||
1.一种涂胶显影腔体温湿度控制系统,其特征在于,包括:过滤器、毛细管翅片式冷却装置、加湿器、加热器、风机、风管及涂胶显影腔体,所述涂胶显影腔体具有上端口,毛细管翅片式冷却装置位于所述过滤器与所述加湿器之间;所述加热器位于所述加湿器与所述风机之间;所述风管连接所述风机及所述上端口;新进风依次通过所述过滤器、所述毛细管翅片式冷却装置、所述加湿器、所述加热器、所述风机、所述风管进入所述涂胶显影腔体,所述过滤器用于过滤所述新进风中的杂质;所述毛细管翅片式冷却装置用于冷却所述新进风;所述加湿器用于加湿所述新进风;所述加热器用于加热所述新进风;所述风机用于吸入所述新进风;所述风管用于输送所述新进风。
2.根据权利要求1所述的涂胶显影腔体温湿度控制系统,其特征在于:还包括湿度控制器及湿度感应器;所述湿度控制器连接所述加湿器,所述湿度感应器位于所述涂胶显影腔体内并连接所述湿度控制器。
3.根据权利要求2所述的涂胶显影腔体温湿度控制系统,其特征在于:包含多个所述湿度感应器,其中,至少有一个所述湿度感应器位于所述风管进风口处。
4.根据权利要求1所述的涂胶显影腔体温湿度控制系统,其特征在于:还包括温度控制器及温度感应器;所述温度控制器连接于所述加热器,所述温度感应器位于所述涂胶显影腔体内并连接所述温度控制器。
5.根据权利要求4所述的涂胶显影腔体温湿度控制系统,其特征在于:包含多个所述温度感应器,其中,至少有一个所述温度感应器位于所述风管进风口处。
6.根据权利要求1所述的涂胶显影腔体温湿度控制系统,其特征在于:所述毛细管翅片式冷却装置包括水冷毛细管翅片式冷却装置。
7.根据权利要求1所述的涂胶显影腔体温湿度控制系统,其特征在于:所述风机包括变频风机。
8.根据权利要求1所述的涂胶显影腔体温湿度控制系统,其特征在于:所述涂胶显影腔体还包括排气装置。
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