[实用新型]一种涂胶显影腔体温湿度控制系统

说明书

本实用新型提供一种涂胶显影腔体温湿度控制系统包括：过滤器、毛细管翅片式冷却装置、加湿器、加热器、风机、风管及涂胶显影腔体；采用水冷毛细管翅片式冷却装置，其生产运营成本较低、设备故障率较低、由设备故障所产生的检修费用及停机时间减少，从而可达到提高生产效率、降低生产成本以及节约资源的目的。

技术领域

本实用新型属于半导体技术领域，涉及一种涂胶显影腔体温湿度控制系统。

背景技术

目前，大规模集成电路生产线上，涂胶显影设备的工艺性能指标较高，要实现高性能的技术指标，需要多方面控制各种技术参数，其中涂胶显影设备腔体内的温湿度参数对于涂胶显影技术起着至关重要的作用。

现行技术中，涂胶显影腔体温湿度控制系统常常采用蒸发循环制冷装置作为所述涂胶显影腔体温湿度控制系统中的冷却装置。如图1所示，显示为现有技术中的一种涂胶显影腔体温湿度控制系统的冷却装置框图。所述蒸发循环制冷装置一般包含压缩过程、冷凝过程、膨胀过程及蒸发过程，其原理就是利用有限的制冷剂在封闭的制冷系统中，反复地对所述制冷剂进行压缩、冷凝、膨胀及蒸发，进行物态(气态、液态)变化，进行制冷降温。然而，由于所述冷却装置包含压缩、冷凝、膨胀及蒸发4个过程，因而，其生产运营成本较高、设备故障率较高、由设备故障所产生的检修费用及停机时间增加，从而造成生产效率降低、生产成本增加以及资源浪费的问题。

因此，设计一种能够有效提高生产效率、降低生产成本、节约资源的同时，提高产品质量的涂胶显影腔体温湿度控制系统极其必要。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种涂胶显影腔体温湿度控制系统，用于解决现有技术中生产运营成本较高、设备故障率较高、由设备故障所产生的检修费用及停机时间增加，从而造成生产效率降低、生产成本增加以及资源浪费的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种涂胶显影腔体温湿度控制系统，包括：过滤器、毛细管翅片式冷却装置、加湿器、加热器、风机、风管及涂胶显影腔体，所述涂胶显影腔体具有上端口，毛细管翅片式冷却装置位于所述过滤器与所述加湿器之间；所述加热器位于所述加湿器与所述风机之间；所述风管连接所述风机及所述上端口；新进风依次通过所述过滤器、所述毛细管翅片式冷却装置、所述加湿器、所述加热器、所述风机、所述风管进入所述涂胶显影腔体，所述过滤器用于过滤所述新进风中的杂质；所述毛细管翅片式冷却装置用于冷却所述新进风；所述加湿器用于加湿所述新进风；所述加热器用于加热所述新进风；所述风机用于吸入所述新进风；所述风管用于输送所述新进风。

优选地，还包括湿度控制器及湿度感应器；所述湿度控制器连接所述加湿器，所述湿度感应器位于所述涂胶显影腔体内并连接所述湿度控制器。

优选地，包含多个所述湿度感应器，其中，至少有一个所述湿度感应器位于所述风管进风口处。

优选地，还包括温度控制器及温度感应器；所述温度控制器连接所述加热器，所述温度感应器位于所述涂胶显影腔体内并连接所述温度控制器。

优选地，包含多个所述温度感应器，其中，至少有一个所述温度感应器位于所述风管进风口处。

优选地，所述毛细管翅片式冷却装置包括水冷毛细管翅片式冷却装置。

优选地，所述风机包括变频风机。

优选地，所述涂胶显影腔体还包括排气装置。

如上所述，本实用新型中的涂胶显影腔体温湿度控制系统，具有以下有益效果：采用水冷毛细管翅片式冷却装置对新进风进行冷却，其生产运营成本较低、设备故障率较低、由设备故障所产生的检修费用及停机时间减少，从而可达到提高生产效率、降低生产成本以及节约资源的目的。

附图说明

图1显示为现有技术中的一种涂胶显影腔体温湿度控制系统的冷却装置框图。