[实用新型]非晶合金激光低温抛光系统有效

专利信息
申请号: 201721898299.2 申请日: 2017-12-29
公开(公告)号: CN207735764U 公开(公告)日: 2018-08-17
发明(设计)人: 翟会阳;赵海;柳先锋;李定春;钟伟 申请(专利权)人: 上海驰声新材料有限公司
主分类号: B23K26/00 分类号: B23K26/00;B23K26/03
代理公司: 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 代理人: 吴泽群
地址: 201906 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 激光发射机构 激光 低温抛光 非晶合金 加工箱 传动平台 反馈机构 夹装 本实用新型 面型检测 控制端 室内 传动连接 抛光效果 平台设置 通用性强 发射 检测
【权利要求书】:

1.一种非晶合金激光低温抛光系统,其特征在于,包括一加工箱室、一夹装平台、一激光发射机构、一激光传动平台、一面型检测反馈机构和一控制端,所述激光发射机构与所述激光传动平台传动连接地设置于所述加工箱室内;所述夹装平台设置于所述加工箱室内并固定于所述激光发射机构的下方;所述面型检测反馈机构连接所述加工箱室并位于所述夹装平台的上方;所述激光传动平台、所述面型检测反馈机构和所述激光发射机构分别连接所述控制端;所述激光发射机构可发射YAG激光和ArF准分子激光。

2.根据权利要求1所述的非晶合金激光低温抛光系统,其特征在于,所述激光发射机构包括一YAG激光发射装置和一ArF准分子激光发射装置。

3.根据权利要求1所述的非晶合金激光低温抛光系统,其特征在于,所述激光传动平台包括一三维传动平台。

4.根据权利要求3所述的非晶合金激光低温抛光系统,其特征在于,所述三维传动平台包括一第一方向传动机构、一第二方向传动机构、一升降机构和一固定座;所述激光发射机构固定于所述固定座,所述固定座可沿所述第一方向往复运动地与所述第一方向传动机构传动连接,所述固定座可沿所述第二方向往复运动地与所述第二方向传动机构传动连接,所述固定座可沿竖直方向往复运动地与所述升降机构传动连接。

5.根据权利要求1~4任一项所述的非晶合金激光低温抛光系统,其特征在于,还包括一光束均匀器,所述光束均匀器连接所述激光发射机构。

6.根据权利要求5所述的非晶合金激光低温抛光系统,其特征在于,还包括一抽尘装置和一管道,所述抽尘装置通过所述管道与所述加工箱室连通。

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