[实用新型]非晶合金激光低温抛光系统

说明书

本实用新型提供一种非晶合金激光低温抛光系统，包括一加工箱室、一夹装平台、一激光发射机构、一激光传动平台、一面型检测反馈机构和一控制端，所述激光发射机构与所述激光传动平台传动连接地设置于所述加工箱室内；所述夹装平台设置于所述加工箱室内并固定于所述激光发射机构的下方；所述面型检测反馈机构连接所述加工箱室并位于所述夹装平台的上方；所述激光传动平台、所述面型检测反馈机构和所述激光发射机构分别连接所述控制端；所述激光发射机构可发射YAG激光和ArF准分子激光。本实用新型的一种非晶合金激光低温抛光系统，可实现对非晶合金激光的低温抛光，并具有抛光效果好、精度高和通用性强的优点。

技术领域

本实用新型涉及非晶合金抛光工艺领域，尤其涉及一种非晶合金激光低温抛光系统。

背景技术

目前激光技术主要应用在打标，切割，焊接等加工工艺上，抛光技术国内尚未有大的技术突破，技术难点只要在激光功率大小的选择，加工参数的控制，以及抛光效率的提升，抛光效果的改善。

非晶合金有很好的理化性能及力学性能，但其有较低的熔点，较高的电阻率，低热导率，硬度高，强度大，正因为这些特点，造成了非晶合金的难加工，特别是表面处理的研磨抛光。

传统的接触式抛光方法，均会有热量产生，会造成材料因为磨削高温的而恢复到晶体状态，从而失去了非晶合金材料的优良性能。

发明内容

针对上述现有技术中的不足，本实用新型提供一种非晶合金激光低温抛光系统，可实现对非晶合金激光的低温抛光，并具有抛光效果好、精度高和通用性强的优点。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种非晶合金激光低温抛光系统，包括一加工箱室、一夹装平台、一激光发射机构、一激光传动平台、一面型检测反馈机构和一控制端，所述激光发射机构与所述激光传动平台传动连接地设置于所述加工箱室内；所述夹装平台设置于所述加工箱室内并固定于所述激光发射机构的下方；所述面型检测反馈机构连接所述加工箱室并位于所述夹装平台的上方；所述激光传动平台、所述面型检测反馈机构和所述激光发射机构分别连接所述控制端；所述激光发射机构可发射YAG激光和ArF准分子激光。

优选地，所述激光发射机构包括一YAG激光发射装置和一ArF准分子激光发射装置。

优选地，所述激光传动平台包括一三维传动平台。

优选地，所述三维传动平台包括一第一方向传动机构、一第二方向传动机构、一升降机构和一固定座；所述激光发射机构固定于所述固定座，所述固定座可沿所述第一方向往复运动地与所述第一方向传动机构传动连接，所述固定座可沿所述第二方向往复运动地与所述第二方向传动机构传动连接，所述固定座可沿竖直方向往复运动地与所述升降机构传动连接。

优选地，还包括一光束均匀器，所述光束均匀器连接所述激光发射机构。

优选地，还包括一抽尘装置和一管道，所述抽尘装置通过所述管道与所述加工箱室连通。

本实用新型的一种基于本实用新型非晶合金激光低温抛光系统的非晶合金激光低温抛光方法，包括步骤：

S1：将一非晶合金产品固定于所述夹装平台；

S2：启动面型检测反馈机构和所述控制端，所述面型检测反馈机构实时向所述控制端反馈所述非晶合金产品的表面状态数据；

S3：通过所述激光传动平台传动所述激光发射机构对所述非晶合金产品定位；

S4：启动所述激光发射机构向所述非晶合金产品发射YAG激光进行粗抛光工序,所述YAG激光的波长为300nm，所述YAG激光的脉宽为12ns，所述YAG激光的能量密度为3.2-800J/cm²；