[实用新型]一种OLED线性蒸发源结构有效
| 申请号： | 201721898982.6 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207699657U | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 林文晶;彭勃 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 201506 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 线性蒸发源 坩埚 进气口 本实用新型 喷嘴 封板 底部中央位置 喷嘴排列方向 厚度均匀性 加热坩埚 均匀排布 均匀一致 有机材料 蒸镀设备 出气口 体内腔 镀膜 基板 紧固 良率 内腔 通孔 蒸镀 密封 喷射 垂直 均衡 | ||
1.一种OLED线性蒸发源结构，其特征在于，包括：
坩埚(10)，所述坩埚(10)上设有坩埚出气口(101)；
本体(20)，所述本体(20)的内腔为中心对称的扇形截面形状；所述本体(20)的底部中央位置设有本体进气口，用来与坩埚出气口(101)相连通；
所述本体(20)的顶部，设置有水平呈线性均匀排布，垂直高度相同的多个喷嘴(30)；
所述本体(20)在垂直于喷嘴(30)排列方向上的两侧分别设有封板(40)，所述封板(40)紧固在所述本体(20)上，且能实现对所述本体(20)的内腔的密封。
2.根据权利要求1所述的一种OLED线性蒸发源结构，其特征在于，所述内腔由上至下依次设有：内腔上弧面(202)、左右两个内腔底侧斜面(201)和本体进气口。
3.根据权利要求2所述的一种OLED线性蒸发源结构，其特征在于，左右两个所述内腔底侧斜面(201)的夹角的角度为90°～150°。
4.根据权利要求2或3所述的一种OLED线性蒸发源结构，其特征在于，所述本体(20)上设置有多个本体通孔(203)，每个所述喷嘴(30)上分别设置有一个喷嘴通孔(301)；
每个所述本体通孔(203)的上端与一个所述喷嘴通孔(301)相连通，每个所述本体通孔(203)的下端通过内腔上弧面(202)与所述本体(20)的内腔相连通。
5.根据权利要求4所述的一种OLED线性蒸发源结构，其特征在于，所述本体通孔(203)的直径比所述喷嘴通孔(301)的直径大。
6.根据权利要求2或3所述的一种OLED线性蒸发源结构，其特征在于，所述本体(20)的内腔上弧面(202)为薄壁结构，且所述内腔上弧面(202)上设置有多个本体通孔(203)；每个所述喷嘴(30)上分别设置有一个喷嘴通孔(301)；每个本体通孔(203)通过一个喷嘴进气通道(302)与一个所述喷嘴(30)连通。
7.根据权利要求6所述的一种OLED线性蒸发源结构，其特征在于，所述喷嘴进气通道(302)的直径比所述喷嘴通孔(301)的直径大。
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